Фильтр
Нанесение фоторезистаПроявление фоторезистаСушка фоторезистаСовмещение и экспонированиеБезмасковая фотолитографияФотолитография и сварка пластин
Полуавтоматическая система очистки пластин EVG®301

EVG®301 — полуавтоматическая система для очистки одной пластины с возможностью модульного дизайна и ручной загрузкой пластин/подложек. В EVG®301 используется одна станция очистки, в которой можно выполнять не только стандартную очистку пластины с использованием деионизованной воды, но и использовать в качестве дополнительных возможностей мегазвуковую очистку, очистку с помощью щетки, а также очистку химическими растворами.

Запросить Добавить в лист запросов
Характеристики
EVG510 Полуавтоматическая система сварки пластин

Полуавтоматическая система сварки пластин EVG510 работает с пластинами до 200мм. Она может быть легко сконфигурирована под научно-исследовательские или производственные задачи. EVG510 обеспечивает полностью автоматический процесс сварки с ручной загрузкой и выгрузкой пластин. Модульная конструкция сварочных камер для 150мм и 200мм пластин обеспечивает совместимость со всеми системами EVG500, так же как с автоматической промышленной системой сварки пластин GEMENI. В дополнение EVG510 приспособлена для работы с наиболее сложными МЭМС применениями, требующими высокого вакуума и его прецизионного контроля.

Запросить Добавить в лист запросов
Характеристики
EVG520IS Полуавтоматическая система сварки пластин

Полуавтоматическая система сварки пластин EVG520IS обеспечивает полностью автоматическую сварку пластин с ручной загрузкой и выгрузкой. EVG520IS проста в управлении и обеспечивает высокую производительность. В систему входит встроенная станция охлаждение и хранилище для держателей и сваренных пластин.

Запросить Добавить в лист запросов
Характеристики
EVG540 Автоматическая система сварки пластин

Автоматическая система сварки пластин EVG540 с одной сварочной камерой предназначена для серийного и крупносерийного производства, но также может применяться для научно-исследовательских целей в области сварки пластин, выполнении 3D межсоединений и МЭМС применений.

Запросить Добавить в лист запросов
Характеристики
Бесконтактная фотолитографическая система EVG PHABLE
Запросить Добавить в лист запросов
Характеристики
Производитель
Модульность
Технологическая операция
Тип производства
Степень автоматизации
Сбросить