ООО «Остек-ЭТК»
Молодогвардейская ул., д. 7, стр. 4, Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru, etc@ostec-group.ru
ИНН 7731481052, КПП 773101001, ОГРН 5147746189058,
ОКПО 17183453

Забыли пароль?

E-mail
Для восстановления пароля введите E-mail, указанный при регистрации.
На ваш E-mail будет выслано письмо с дальнейшими инструкциями.
EN  RU
Группа Остек
Сайт производителя:
Добавить в лист запросов Распечатать Сохранить PDF
Технические характеристики

Технические характеристики

EVG®510

 

EVG®520IS

 

 

EVG®540

 

EVG®560

GEMINI

Размер нагревателя=макс. размеру обраб. пластины

150 мм

*

*

*

*

*

200 мм

*

*

*

*

*

300 мм

 

*

*

*

*

Мин. размер обраб. пластины/подложки

С 150 мм нагревателем

Одиночные кристаллы

Одиночные кристаллы

50

50

50

С 200 мм нагревателем

100

100

100

100

100

С 300 мм нагревателем

 

 

200

200

200

Система совмещения и фиксации пластин

С 150 мм нагревателем

EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView

EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView

EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView

EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView

SmartView

С 200 мм нагревателем

EVG6200, IQ, SmartView

EVG6200, IQ, SmartView

EVG6200, IQ, SmartView

EVG6200, IQ, SmartView

SmartView

С 300 мм нагревателем

 

 

IQ, SmartView

IQ, SmartView

SmartView

Максимальное контактное усилие

3.5 кН, 7кН, 10кН

3.5 кН, 7кН, 10кН, 40кН, 60кН

Максимальная температура

550оС (650оС опционально)

550оС (600оС опционально)

Вакуум

1*10-3 мБар (стандартно), 1*10-5  мБар (опционально), дополнительные линии подачи газа (опция)

Электропитание для процесса анодной посадки

0-2000В/50мА

Загрузка пластин в камеру

ручная

ручная

3-осный робот

5-осный робот

5-осный робот

Полная программная совместимость с системой GEMINI

*

*

*

*

*

Максимальное количество камер сварки пластин

1

2

1

от 4 до 10

от 4 до 10

Область применения

Опытно-конструкторское производство

 

 

 

 

Мелкосерийное производство

 

 

 

Крупносерийное производство