Система атомно-слоевого осаждения ULTECH Space Series (ALD System)

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Внешний вид установки с системой осаждения душевого типа

Внешний вид установки с системой осаждения проходного типа

Рабочая камера системы осаждения душевого типа

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

Системы Space Series предназначены для создания слоёв диэлектрика с высокой диэлектрической проницаемостью

Функциональные возможности:

широкий выбор источников осаждения (газообразные, жидкие, твердые);
минимизация объема реакционной камеры;
передаточная камера кассетного типа;
кластерная система до двух модулей;
широкий диапазон температур;
блок подачи жидкого источника примеси;
самораспределенный впрыск газа;
быстрая скорость переключения.

Применение:

подзатворные диэлектрики с высокой диэлектрической проницаемостью;
диффузионные барьеры;
диэлектрики с высокой диэлектрической проницаемостью;
пассивирующие слои;
прозрачные проводники.

Размер образцов и пропускная способность	одна пластина размером до 8″;
ВЧ-источник питания	600 Вт при 13,56 МГц с системой автосогласования
Нагрев пластины	макс. 500 °С
Загрузочная камера	автономного типа
Предельный вакуум	≤ 5×10 — 3 Торр
Вакуумный насос	роторный, безмасляный
Управление процессом	управление с ПК

Система атомно-слоевого осаждения ULTECH Space Series (ALD System)

Функциональные возможности:

Применение:

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование