Системы выращивания методом газофазного химического осаждения графена и углеродных нанотрубок ULTECH GRABO

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Системы выращивания методом газофазного химического осаждения графена и углеродных нанотрубок ULTECH GRABO

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

Системы GRABO Series предназначена для эпитаксии различных кремниевых соединений, включая углеродные нанотрубки.

Функциональные возможности:

механизм загрузки-перемещения образцов для их быстрого нагрева/охлаждения;
специальный термопарный датчик для непосредственного контроля температуры образца;
поддерживает термическое и усиленное плазмой осаждение.

Применение:

рост графена (CVD);
рост кремниевой нанопроволоки;
рост углеродных нанотрубок (CVD);
SiC эпитаксия;
SiGe эпитаксия.

Тип источника нагрева	галогенная лампа
Макс. температура	1000 °С
Кварцевая трубка
Предельный вакуум	≤ 5×10 — 3 Торр
Вакуумный насос	роторный насос (опция — безмасляный насос)
Управление процессом	ручное или управление с ПК

Системы выращивания методом газофазного химического осаждения графена и углеродных нанотрубок ULTECH GRABO

Функциональные возможности:

Применение:

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование