Фильтр
Автоматические системы совмещения пластин EVG SmartView® и EVG SmartView®NT

EVG SmartView® и EVG SmartView®NT — автоматические системы совмещения пластин, которые позволяют работать с подложками различных размеров, начиная от 50 мм и до 300 мм.

Характеристики
Модульная автоматизированная система совмещения пластин EVG MBA (Modular Bond Alignment System)

С изобретением первой в мире двухсторонней системы совмещения в 1985 году EVG произвела революцию в технологии MEMS и установила мировые отраслевые стандарты в совмещении пластин и их последующей сварке, разделив процесс выравнивания и сварки. Это разделение приводит к большей гибкости и универсальному применению оборудования для сварки пластин.

Характеристики
Автоматизированная система совмещения и экспонирования фотошаблона с пластиной EVG®IQ Aligner®NT

IQ Aligner®NT сочетает в себе современные разработки в оптике и механике, обеспечивающие высокоинтенсивное экспонирование, точное совмещение до 250 нм, точное регулирование зазора экспозиции, а также быстрый процесс обработки пластин с производительностью до 200 пластин в час. IQ Aligner®NT поставляется с расширенными возможностями для самых точных и гибких схем совмещения, таких как микроскоп с покрытием целой 300 мм пластины. Конструкция позволяет осуществлять глобальное многоточечное совмещение и точную установку позитивного фотошаблона. Оптимизированное программное обеспечение процессов и удобство работы оператора дополняют хорошо спроектированную концепцию.

Характеристики
Автоматизированная система совмещения и экспонирования фотошаблона с пластиной / система совмещения пластин EVG®6200∞

Новые технологии EVG, используемые при разработке систем совмещения, создают и устанавливают новые промышленные стандарты в двусторонней литографии и сварки пластин с совмещением. EVG остается лидером в данных областях благодаря непрерывной разработке новых поколений систем совмещения для внедрения передовых технологий литографии. Способные работать с пластинами и подложками размером до 300 мм, различной формы и толщины, системы совмещения EVG предназначены для производства МЭМС, создания столбиков припоя (бампов), высокоинтегрированных систем, а также полупроводниковых соединений, силовой электроники, светодиодов и фотовольтаики. Автоматизированные системы совмещения оптимизированы для обеспечения высокой производительности, длительной наработки на отказ и высокой стабильности.

Характеристики
Автоматическая система сварки пластин / кристалла c пластиной EVG®560

EVG®560 — полностью автоматическая, многокамерная система сварки пластин, предназначенная для всех процессов сварки. Конфигурация до четырех сварочных камер может быть реализована в одной системе. EVG®560 содержит встроенную станцию охлаждения и устройство управления каждой камерой. Полностью совместима со всеми полуавтоматическими системами сварки.

Характеристики
Система плазменной обработки FlexTrakTM-S Plasma System

Система FlexTRACKТМ-S специально разработана для обработки подложек больших размеров и удовлетворяет требованиям по плазменной обработке для передовых процессов упаковки полупроводниковой и электронной продукции. Система обеспечивает равномерную и эффективную плазменную обработку и предназначена для широкого спектра применений. Более мощный высокочастотный генератор и улучшенная проводимость вакуумной системы позволяют сопоставить FlexTRACKТМ-S с меньшей системой FlexTRAKТМ. Архитектура рабочей камеры остается прежней, но удлиненной для размещения большего количества подложек. Результатом является плавный переход между различными плазменными камерами, если в производстве требуется большая вместительность.

Характеристики
Система плазменной обработки FlexTrakTM-2MB Plasma System

Система FlexTRACKТМ-2M предназначена для проведения межпроцессных операций при производстве микроэлектронных устройств, установленных в лодочные кассеты, лотки или в другие типы носителей, и обеспечивает высокую производительность. Запатентованная конструкция плазменной камеры предоставляет исключительную однородность и повторяемость процесса. Симметричная по трем осям геометрия камеры обеспечивает контроль над всеми параметрами процесса и высокую повторяемость результатов.

Характеристики
Система плазменной обработки FlexTrakTM CDS Plasma System

Система FlexTRACKТМ CDS обеспечивает отличное качество плазменной обработки и высокую производительность при малых габаритах. Система основана на запатентованной технологии плазменной обработки Nordson MARCH и является лишь одной из многих плазменных систем, оснащенных камерой большой емкости, которая обеспечивает высокую однородность и повторяемость процесса. Система FlexTRACKТМ CDS позволяет равномерно обрабатывать все участки подложки.

Характеристики
Система плазменной обработки FlexTrakTM CD Plasma System

Система FlexTRACKТМ CD обеспечивает отличное качество плазменной обработки и высокую производительность при малых габаритах. Система спроектирована для высокопроизводительной обработки рамок с выводами, многослойных подложек и других подобных компонентов с производительностью до 5 рамок за цикл.

Характеристики