Система термического испарения ULTECH UTE Series (Thermal Evaporation System)

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Система термического испарения ULTECH UTE Series (Thermal Evaporation System)

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

Система UTE Series предназначена для контролируемого испарения с поверхности пластины с возможностью одновременной обработки нескольких пластин.

Функциональные возможности:

возможность обрабатывать подложки любой формы и размера;
возможность использования нескольких источников испарения с защитой от перекрестного загрязнения;
экран от перекрестного загрязнения для использования нескольких испарителей;
дополнительный контроль толщины осаждаемых пленок.

Применение:

покрытие из легированного металла (совместное испарение);
осаждение сплавов;
осаждение металлов (Au, Ag, Al, Cr, Cu, Ti и т.д.).

Размер образца	пластины до 6″
Производительность	зависит от размера камеры
Скорость вращения образца	5 — 12 об/мин
Блок питания термического испарителя	1,5 кВт (5 В/300 А)
Термическая лодочка	1-3 шт. (по выбору)
Контроль осаждения	автоматический контроль толщины пленки
Предельный вакуум	≤ 5×10 — 7 Торр
Вакуумный насос	крионасос + роторный (опция: турбомолекулярный насос, безмасляный насос)
Управление процессом	ручное управления (опция: управление с ПК)

Система термического испарения ULTECH UTE Series (Thermal Evaporation System)

Функциональные возможности:

Применение:

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование