Габаритные размеры
|
Габариты, мм
|
Ш 680 х В 1127 х Г 1890
|
Вес, кг
|
485
|
Минимальные зазоры для монтажа, мм
|
слева/справа — 153; спереди — 680; сзади — 483
|
Камера
|
Максимальный объем, л
|
127
|
Конфигурация электродов
|
силовой-земля; земля-силовой; силовой-силовой
|
Количество полок под электроды
|
14
|
Шаг между электродами, мм
|
25,4 мм для системы с мощностью 600 Вт
50,8 мм для системы с мощностью 1000 Вт
|
Электроды
|
Рабочая зона силового, мм
|
Ш 349 х Г 425
|
Рабочая зона земляного/ перфорированного, мм
|
Ш 384 х Г 425
|
Рабочая зона плавающего, мм
|
Ш 349 х Г 425
|
ВЧ-генератор
|
Частота, МГц
|
13,56
|
Выходная мощность, Вт
|
600 Вт (стандартное исполнение)/1000 Вт (опция)
|
Газовый контроль
|
Доступные объемы потоков, см³/мин
|
10, 25, 50, 100, 250, 500, 1000, 2000 или 5000
|
Максимальное количество регуляторов газа
|
4
|
Контроль и интерфейс
|
Управление программным обеспечением
|
Программируемый логический контроллер и графический интерфейс управления на основе сенсорного экрана
|
Удаленный контроль
|
Управление процессом; управление плазмой
|
Вакуумный насос
|
Мокрый насос (стандартная комплектация)
|
1500 л/мин с масляной ловушкой
|
Мокрый насос (опция)
|
1500 л/мин с масляной ловушкой коррозионных газов
|
Сухой насос (опция)
|
1784 л/мин
|
Насос для подачи N2
|
14 ст. л/мин
|
Насос для подачи охлаждающей жидкости (воды)
|
5 ст. л/мин
|
Требования к подключению
|
Электропитание
|
220 В, 25 A, 50/60 Гц, 3 фазы, 8,37 мм², 4 провода
380 В, 25 A, 50/60 Гц, 3 фазы, 8,37 мм², 5 проводов
|
Подача рабочих газов
|
Разъем: 6,35 мм (0,25″) OD Swagelok Tube; давление: 0,69 бар...1,03 бар
|
Подача чистых газов
|
Разъем: 6,35 мм (0,25″) OD Swagelok Tube; давление: 2 бар...6,9 бар
|
Пневматика
|
Разъем: 6,35 мм (0,25″) OD Swagelok Tube; давление: 3,45 бар...6,89 бар воздуха (без масляных паров) с частицами < 5 мкм и температурой 7 °С
|
Вытяжка
|
Диаметр фланца трубы 38 мм (OD)
|
Дополнительное оборудование (рекомендуемое)
|
Генератор азота и генератор водорода
|