Габаритные размеры
|
Габариты, мм
|
Ш 569 х В 869 х Г 704
|
Вес, кг
|
221
|
Минимальные зазоры для монтажа, мм
|
слева/справа/спереди — 569; сзади — 483
|
Камера
|
Максимальный объем, л
|
50,4
|
Конфигурация электродов
|
силовой-земля; земля-силовой; силовой-силовой
|
Количество полок под электроды
|
7
|
Шаг между электродами, мм
|
25,4
|
Электроды
|
Рабочая зона силового, мм
|
Ш 330 х Г 330
|
Рабочая зона земляного/ перфорированного, мм
|
Ш 368 х Г 330
|
Рабочая зона плавающего, мм
|
Ш 330 х Г 330
|
ВЧ-генератор
|
Частота, МГц
|
13,56
|
Выходная мощность, Вт
|
600
|
Газовый контроль
|
Доступные объемы потоков, см³/мин
|
10, 25, 50, 100, 250 или 500
|
Максимальное количество регуляторов газа
|
4
|
Контроль и интерфейс
|
Управление программным обеспечением
|
Программируемый логический контроллер и графический интерфейс управления на основе сенсорного экрана
|
Удаленный контроль
|
Управление процессом; управление плазмой
|
Вакуумный насос
|
Мокрый насос (стандартная комплектация)
|
552 л/мин с масляной ловушкой
|
Мокрый насос (опция)
|
552 л/мин с масляной ловушкой коррозионных газов
|
Сухой насос (опция)
|
623 л/мин
|
Насос для подачи N2
|
2 ст. л/мин
|
Требования к подключению
|
Электропитание
|
110 В, 20 A, 50/60 Гц, 1-фаза, 3,31 мм², 3-провода
220 В, 25 A, 50/60 Гц, 3-фазы, 2,31 мм², 3-проводов
|
Подача рабочих газов
|
Разъем: 6,35 мм (0,25″) OD Swagelok Tube; давление: 0,69 бар...1,03 бар
|
Подача чистых газов
|
Разъем: 6,35 мм (0,25″) OD Swagelok Tube; давление: 2 бар...6,9 бар
|
Пневматика
|
Разъем: 6,35 мм (0,25″) OD Swagelok Tube; давление: 3,45 бар...6,89 бар воздуха (без масляных паров) с частицами < 5 мкм и температурой 7 °С
|
Вытяжка
|
Диаметр фланца трубы 38 мм (OD)
|
Дополнительное оборудование (рекомендуемое)
|
Генератор азота и генератор водорода
|
Скруббер, охладитель
|