Установка плазменной обработки Nordson March FlexTRACK ™

Система FlexTRACK^ТМ обеспечивает превосходное качество плазменной обработки и высочайший уровень автоматизации в одной системе. Система предназначена для плазменной обработки широкого спектра изделий микроэлектроники. Запатентованная конструкция плазменной камеры предоставляет исключительную однородность и повторяемость процесса. Симметричная по трем осям геометрия камеры обеспечивает однородность обработки всех образцов, а строгий контроль всех параметров процесса — повторяемость результатов.

Функциональные особенности

• Передовая технологическая гибкость не только для процессов непосредственной плазменной обработки, но и для обработки в безионной плазме, что позволяет избегать преждевременной экспозиции светочувствительных элементов;
  
• Возможность легкой интеграции с широким набором приспособлений для различных сфер применения, включая монтаж кристаллов, разварку проволокой, формовку и заливку;
  
• Узкая конструкция позволяет занимать минимальное место в рабочем помещении, при этом обеспечивает доступ ко всем узлам, нуждающимся в обслуживании, через фронтальные панели;
  
• Компактная, симметричная по трем осям рабочая камера и запатентованный контроль процесса обеспечивают непревзойдённую однородность обработки;
  
• Лидирующие показатели по производительности и сокращенному времени цикла.
  

Система управления SMART TUNE™

Модернизированная система управления SMART Tune™ предоставляет широкие возможности по управлению плазменными процессами по принципу обратной связи, что позволяет оптимизировать ВЧ-систему и максимально сократить затраты по времени на настройку и переналадку. Система автоматически выводит плазмогенератор на рабочий режим, компенсирует флуктуации вакуумного давления и температуры в рабочей камере. Максимальную мощность в плазменном контуре FlexTRACKТМ развивает за несколько секунд благодаря усовершенствованному алгоритму, который позволяет непрерывно производить измерения прямой и отраженной мощности внутри контура.