Габаритные размеры
|
Габариты, мм
|
Ш 382 х В 1595 х Г 1210
|
Вес, кг
|
275
|
Минимальные зазоры для монтажа, мм
|
слева/справа — 153; спереди/сзади — 914
|
Камера
|
Максимальный объем, л
|
5,5
|
Электроды
|
Конфигурация электродов
|
силовой-земля; земля-силовой; силовой-силовой
|
Рабочая зона, мм
|
Ш 305 х Г 305
|
ВЧ-генератор
|
Частота, МГц
|
13,56
|
Выходная мощность, Вт
|
600
|
Газовый контроль
|
Доступные объемы потоков, см³/мин
|
10, 25, 50, 100, 250 или 500
|
Максимальное количество регуляторов газа
|
4
|
Контроль и интерфейс
|
Управление программным обеспечением
|
Программируемый логический контроллер и графический интерфейс управления на основе сенсорного экрана с возможностью удаленного контроля
|
Вакуумный насос
|
Мокрый насос (опция), л/мин
|
552
|
Сухой насос (стандартная комплектация), л/мин
|
453
|
Сухой насос с очисткой (опция), л/мин
|
453
|
Насос для подачи N2, ст.л/мин
|
2
|
Требования к подключению
|
Электропитание
|
220 В, 15 A, 50/60 Гц, 1 фаза, 3,31 мм², 3 провода
|
Подача рабочих газов
|
Разъем: 6,35 мм (0,25″) OD Swagelok Tube; давление: 0,69 бар...1,03 бар
|
Подача чистых газов
|
Разъем: 6,35 мм (0,25″) OD Swagelok Tube; давление: 2 бар...6,9 бар
|
Пневматика
|
Разъем: 6,35 мм (0,25″) OD Swagelok Tube; давление: 3,45 бар...6,89 бар
воздуха (без масляных паров) с частицами < 5 мкм и температурой 7 °С
|
Вытяжка
|
Диаметр фланца трубы 25,4 мм (OD)
|
Дополнительное оборудование (рекомендуемое)
|
Генератор азота и генератор водорода
|
Скруббер, чиллер
|