Габаритные размеры
|
Габариты, Ш х В х Г
|
800×1596×1530 (мм)
|
Вес
|
590 кг
|
Минимальные зазоры для монтажа
|
слева / справа / спереди — 607 мм, сзади — 254 мм
|
Камера
|
Максимальный объем
|
5,5 л
|
Электроды
|
Конфигурация электродов
|
силовой-земля; земля-силовой; силовой-силовой
|
Рабочая зона, Ш х Г
|
305×305 мм
|
ВЧ-генератор
|
Частота
|
13,56 МГц
|
Выходная мощность
|
600 Вт
|
Газовый контроль
|
Доступные объемы потоков
|
10, 25, 50, 100, 250 или 500 см3/мин
|
Максимальное количество регуляторов газа
|
4
|
Контроль и интерфейс
|
Управление программным обеспечением
|
Программируемый логический контроллер и графический интерфейс управления на основе сенсорного экрана с возможностью удаленного контроля
|
Вакуумный насос
|
Мокрый насос (опция)
|
552 л/мин
|
Сухой насос (стандартная комплектация)
|
453 л/мин
|
Сухой насос с очисткой (опция)
|
453 л/мин
|
Насос для подачи N2
|
2 ст.л/мин
|
Требования к подключению
|
Электропитание
|
220 В, 15 A, 50/60 Гц, 1-фаза, 3,31 мм2, 3-провода
|
Подача рабочих газов
|
Разъем: 6,35 мм (0.25″) OD Swagelok Tube; давление: 0,69 бар...1,03 бар
|
Подача чистых газов
|
Разъем: 6,35 мм (0.25″) OD Swagelok Tube; давление: 2 бар...6,9 бар
|
Пневматика
|
Разъем: 6,35 мм (0.25″) OD Swagelok Tube; давление: 3,45 бар...6,89 бар воздуха (без масляных паров) с частицами <5мкм и температурой 7°С
|
Вытяжка
|
Диаметр фланца трубы 25,4 мм (OD)
|
Дополнительное оборудование (рекомендуемое)
|
Генератор азота и генератор водорода
|
Скруббер, охладитель
|