{"NAV":"
\r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Nikon NSR-SF155 \u2014 i-line<\/nobr> Stepper, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0438 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML PAS 5500\/100D<\/span>\r\n \r\n \r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML PAS 5500\/100D \u2014 i-line<\/nobr> Stepper, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML PAS 5500\/350\u0421<\/span>\r\n \r\n \r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML PAS 5500\/350C \u2014 DUV Stepper, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML PAS 5500\/850\u0421<\/span>\r\n \r\n \r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML PAS 5500\/850C \u2014 KrF laser S\u0441anner, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML PAS 5500\/1150C<\/span>\r\n \r\n \r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML PAS 5500\/1150C \u2014 ArF laser S\u0441anner, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML Twinscan NXE:3400B <\/span>\r\n \r\n \r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML Twinscan NXE:3400B \u2014 EUV Scanner, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0432\u0437\u043e\u0439\u0434\u0451\u043d\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML Twinscan NXT:2000i <\/span>\r\n \r\n \r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML Twinscan NXT:2000i \u2014 ArF Scanner, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0432\u0437\u043e\u0439\u0434\u0451\u043d\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043b\u043e\u0433\u0438\u043a\u0438 \u0438 DRAM.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-3030eX6<\/span>\r\n \r\n \r\n\t \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-3030eX6 \u2014 KrF excimer laser Stepper, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 IoT \u0438 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-5550iZ2<\/span>\r\n \r\n \r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-5550iZ2 \u2014 i-line<\/nobr> Stepper, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-5510iX<\/span>\r\n \r\n \r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-5510iX \u2014 i-line<\/nobr> Stepper, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043b\u044f \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u041c\u042d\u041c\u0421 \u0438 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-6300ES6a <\/span>\r\n \r\n \r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-6300ES6a \u2014 KrF excimer laser Scanner, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>"}
\r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML PAS 5500\/100D \u2014 i-line<\/nobr> Stepper, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML PAS 5500\/350\u0421<\/span>\r\n \r\n \r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML PAS 5500\/350C \u2014 DUV Stepper, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML PAS 5500\/850\u0421<\/span>\r\n \r\n \r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML PAS 5500\/850C \u2014 KrF laser S\u0441anner, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML PAS 5500\/1150C<\/span>\r\n \r\n \r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML PAS 5500\/1150C \u2014 ArF laser S\u0441anner, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML Twinscan NXE:3400B <\/span>\r\n \r\n \r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML Twinscan NXE:3400B \u2014 EUV Scanner, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0432\u0437\u043e\u0439\u0434\u0451\u043d\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML Twinscan NXT:2000i <\/span>\r\n \r\n \r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML Twinscan NXT:2000i \u2014 ArF Scanner, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0432\u0437\u043e\u0439\u0434\u0451\u043d\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043b\u043e\u0433\u0438\u043a\u0438 \u0438 DRAM.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-3030eX6<\/span>\r\n \r\n \r\n\t \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-3030eX6 \u2014 KrF excimer laser Stepper, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 IoT \u0438 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-5550iZ2<\/span>\r\n \r\n \r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-5550iZ2 \u2014 i-line<\/nobr> Stepper, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-5510iX<\/span>\r\n \r\n \r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-5510iX \u2014 i-line<\/nobr> Stepper, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043b\u044f \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u041c\u042d\u041c\u0421 \u0438 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-6300ES6a <\/span>\r\n \r\n \r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-6300ES6a \u2014 KrF excimer laser Scanner, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>"}
\r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML PAS 5500\/350C \u2014 DUV Stepper, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n
\r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML PAS 5500\/850C \u2014 KrF laser S\u0441anner, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n
\r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML PAS 5500\/1150C \u2014 ArF laser S\u0441anner, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n
\r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML Twinscan NXE:3400B \u2014 EUV Scanner, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0432\u0437\u043e\u0439\u0434\u0451\u043d\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n
\r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML Twinscan NXT:2000i \u2014 ArF Scanner, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0432\u0437\u043e\u0439\u0434\u0451\u043d\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043b\u043e\u0433\u0438\u043a\u0438 \u0438 DRAM.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n
\r\n\t \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-3030eX6 \u2014 KrF excimer laser Stepper, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 IoT \u0438 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n
\r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-5550iZ2 \u2014 i-line<\/nobr> Stepper, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-5510iX<\/span>\r\n \r\n \r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-5510iX \u2014 i-line<\/nobr> Stepper, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043b\u044f \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u041c\u042d\u041c\u0421 \u0438 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-6300ES6a <\/span>\r\n \r\n \r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-6300ES6a \u2014 KrF excimer laser Scanner, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>"}
\r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-5510iX \u2014 i-line<\/nobr> Stepper, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043b\u044f \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u041c\u042d\u041c\u0421 \u0438 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \r\n <\/div>\r\n \r\n \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-6300ES6a <\/span>\r\n \r\n \r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-6300ES6a \u2014 KrF excimer laser Scanner, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n \r\n \u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n \r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/a>\r\n<\/div>"}
\r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Canon FPA-6300ES6a \u2014 KrF excimer laser Scanner, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.\r\n<\/p><\/div>\r\n <\/div>\r\n <\/div>\r\n