Установка CleanStep Carrier Box объединяет несколько технологических операций в одном устройстве.
Система позволяет оптимизировать время выполнения технологических операций для быстрой и эффективной чистки и сушки всех существующих типов носителей, контейнеров для полупроводниковых пластин SMIF-Pod, FOUP и других типов.
Установка Cleanstep Carrier Box предлагает множество инновационных и индивидуальных возможностей, связанных с чисткой и сушкой носителей и контейнеров для полупроводниковых устройств всех существующих типов. Компактное устройство позволяет выполнять одновременную чистку и сушку контейнеров, повышая производительность при низких эксплуатационных расходах.
Основные функции и преимущества:
- Вместимость Cleanstep II: одновременно 8 носителей, 8 контейнеров или 24 носителя без контейнеров.
- Вместимость Cleanstep III: до 6 полных комплектов контейнеров FOUP, до 8 полных комплектов контейнеров SMIF-Pod.
- Возможна адаптация установки под специальные носители/контейнеры; в этом случае размеры держателей будут подобраны под соответствующие носители/контейнеры.
- Повышение производительности за счет использования стандартных поворотных корзин для носителей и контейнеров SMIF и других размером 200 мм и контейнеров FOUP размером 300 мм.
- Чистка носителей/контейнеров горячей деионизированной водой.
- Сушка потоком горячего воздуха сверху (через HEPA-фильтр тонкой очистки воздуха с регулятором давления), вентилятор с регулировкой скорости в рабочем режиме и режиме ожидания.
- Светодиодное освещение внутри технологической камеры.
- Каплеуловитель с датчиком утечки.
- Автоматическая сдвижная дверь со смотровым окном с передней стороны.
- Простой в использовании графический интерфейс пользователя для управления системой:
- ПЛК с сенсорной панелью оптимального размера 10″;
- Система контроля доступа пользователей с защитой паролем (разные уровни доступа);
- Возможность расширения с помощью 40 программ длиной до 50 операций;
- Оптимальное расположение продуктов в зависимости от меняющихся входных данных (время, температура, скорость и т.д.);
- Гибкие вращающиеся контейнеры в поворотных корзинах обеспечивают простоту загрузки и выгрузки.
Дополнительные возможности
Система подачи горячей деионизированной воды
- Встроенный бак для деионизованной воды с нагревателем (до 60°C) и датчиками уровня;
- Диафрагменный насос для подачи и циркуляции горячей воды.
Система подачи чистящих средств (ПАВ)
- Дозирующий насос для точной подачи чистящих средств для уменьшения поверхностного натяжения;
- Контроль уровня жидкости в емкости для чистящего средства (макс. 5 л).
Встроенная система измерения проводимости
- Контроль качества деионизированной воды (вода сверхвысокого давления);
- Датчик установлен в сливной трубе;
- Регистрация измеренной проводимости в виде характеристической кривой.
Модуль ионизации камеры
- Снижение электростатического заряда носителей, контейнеров и тары FOUP;
- Встраивается и программируется в технологических программах.
Сертификация по стандарту FM4910
- Установка сертифицируется по стандарту FM4910;
Фильтр
- Фильтр для деионизированной воды размером 10«. Установка первого картриджа (0,2 мкм).
Интерфейс передачи данных SECS/GEM
- Интерфейс передачи данных SECS/GEM для подключения к системе управления по стандартному протоколу AP&S;
- Встроенный сканер радиочастотных меток (RFID) или штрих-кодов для идентификации носителей и контейнеров;
- Ручной сканер радиочастотных меток (RFID) или штрих-кодов, установленный на передней панели системы.
Загрузка в «сером» помещении
- Дополнительная дверь камеры с задней стороны для загрузки продукции с одной стороны в «сером» помещении и выгрузки с другой стороны в чистом помещении (только для CBIII).
Управление технологическим процессом и установкой с задней стороны
- Дополнительная сенсорная панель с диагональю 10″ на задней стороне системы для удобства управления и обслуживания при внутристенной установке.
Печать/PDF