Фильтр
Автоматические системы совмещения пластин EVG SmartView® и EVG SmartView®NT

EVG SmartView® и EVG SmartView®NT — автоматические системы совмещения пластин, которые позволяют работать с подложками различных размеров, начиная от 50 мм и до 300 мм.

Характеристики
Модульная автоматизированная система совмещения пластин EVG MBA (Modular Bond Alignment System)

С изобретением первой в мире двухсторонней системы совмещения в 1985 году EVG произвела революцию в технологии MEMS и установила мировые отраслевые стандарты в совмещении пластин и их последующей сварке, разделив процесс выравнивания и сварки. Это разделение приводит к большей гибкости и универсальному применению оборудования для сварки пластин.

Характеристики
Светодиодная оптика для экспонирования - новая опция для систем совмещения и экспонирования фотошаблона с пластиной EVG®610 и EVG®620 EVG® LED Exposure Optics

Светодиоды нашли широкое применение во многих областях техники из-за низкого потребления энергии и длительного срока службы. Однако в течение многих лет ртутные лампы были единственным источником света достаточной интенсивности, которые могли обеспечить требования установок совмещения и экспонирования фотошаблона с пластиной. Благодаря недавним улучшениям в УФ-светодиодах в сочетании с хорошо спроектированной оптикой теперь можно обеспечить такую же интенсивность излучения, как и при использовании стандартных ртутных лампы с множеством дополнительных преимуществ.

Характеристики