{"NAV":"<div class=\"nav-pagination-more\">\n        <div class=\"nav-pagination\">\n                    <a class=\"nav-arrow nav-arrow-previous\" href=\"\/catalog\/equipment\/sukhoe\/\">\n<svg width=\"11px\" height=\"19px\" viewBox=\"0 0 11 19\" version=\"1.1\" xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/2000\/svg\" xmlns:xlink=\"http:\/\/www.w3.org\/1999\/xlink\">\n    <g stroke=\"none\" stroke-width=\"1\" fill=\"none\" fill-rule=\"evenodd\">\n        <g transform=\"translate(5.500000, 9.500000) scale(-1, 1) translate(-5.500000, -9.500000) \" fill=\"#708794\" fill-rule=\"nonzero\">\n            <path d=\"M8.43933983,0.439339828 C9.02512627,-0.146446609 9.97487373,-0.146446609 10.5606602,0.439339828 C11.109835,0.988514613 11.1441584,1.85757702 10.6636304,2.44673776 L10.5606602,2.56066017 L3.621,9.5 L10.5606602,16.4393398 C11.109835,16.9885146 11.1441584,17.857577 10.6636304,18.4467378 L10.5606602,18.5606602 C10.0114854,19.109835 9.14242298,19.1441584 8.55326224,18.6636304 L8.43933983,18.5606602 L0.439339828,10.5606602 C-0.109834957,10.0114854 -0.144158381,9.14242298 0.336369556,8.55326224 L0.439339828,8.43933983 L8.43933983,0.439339828 Z\" transform=\"translate(5.500000, 9.500000) scale(-1, 1) translate(-5.500000, -9.500000) \"><\/path>\n        <\/g>\n    <\/g>\n<\/svg><\/a>\n                <a href=\"\/catalog\/equipment\/sukhoe\/\">1<\/a>\n                <a class=\"active\">2<\/a>\n                <a class=\"nav-arrow nav-arrow-next nav-arrow-disabled\">\n<svg width=\"11px\" height=\"19px\" viewBox=\"0 0 11 19\" version=\"1.1\" xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/2000\/svg\" xmlns:xlink=\"http:\/\/www.w3.org\/1999\/xlink\">\n    <g stroke=\"none\" stroke-width=\"1\" fill=\"none\" fill-rule=\"evenodd\">\n        <g transform=\"translate(5.500000, 9.500000) scale(-1, 1) translate(-5.500000, -9.500000) \" fill=\"#708794\" fill-rule=\"nonzero\">\n            <path d=\"M8.43933983,0.439339828 C9.02512627,-0.146446609 9.97487373,-0.146446609 10.5606602,0.439339828 C11.109835,0.988514613 11.1441584,1.85757702 10.6636304,2.44673776 L10.5606602,2.56066017 L3.621,9.5 L10.5606602,16.4393398 C11.109835,16.9885146 11.1441584,17.857577 10.6636304,18.4467378 L10.5606602,18.5606602 C10.0114854,19.109835 9.14242298,19.1441584 8.55326224,18.6636304 L8.43933983,18.5606602 L0.439339828,10.5606602 C-0.109834957,10.0114854 -0.144158381,9.14242298 0.336369556,8.55326224 L0.439339828,8.43933983 L8.43933983,0.439339828 Z\" transform=\"translate(5.500000, 9.500000) scale(-1, 1) translate(-5.500000, -9.500000) \"><\/path>\n        <\/g>\n    <\/g>\n<\/svg><\/a>\n        <\/div>\n<\/div>","CONTENT":"\r\n\r\n<div class=\"elem-snippet \">\r\n    <div class=\"img-wrapper\">\r\n        <img src=\"\/upload\/iblock\/3fa\/fbxfwmxlhvlas4l7llc70x34tqdwgxsa\/ICP-SCD_s.jpg\" alt=\"\">\r\n    <\/div>\r\n    <div class=\"logo-wrapper\">\r\n        <img src=\"\/upload\/iblock\/3fa\/fbxfwmxlhvlas4l7llc70x34tqdwgxsa\/ICP-SCD_s.jpg\" alt=\"\">\r\n    <\/div>\r\n    <div class=\"info\">\r\n                <span class=\"snippet-link\">\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e-\u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0439 (ICP)<\/span>\r\n        <div class=\"snippet-descr-wrap\">\r\n            <div class=\"snippet-descr js-ellipsis\" data-cut-height=\"50\"><p>\r\n\t \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 <strong>ICP-SCD<\/strong> \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043c\u0435\u043b\u043a\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432 \u0438&nbsp;\u041d\u0418\u041e\u041a\u0420 \u043d\u0430&nbsp;\u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u0445 \u00d8&nbsp;150&nbsp;\u043c\u043c \u0438&nbsp;200&nbsp;\u043c\u043c. \u041f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0433\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u0443 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u044f \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0438\u0436\u0435\u043b\u0435\u0436\u0430\u0449\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432. \u0413\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f&nbsp;\u2014 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0451\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438&nbsp;\u043d\u0430\u043d\u043e\u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 <strong>ICP-SCD<\/strong> \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c Bosch-\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430 \u0432&nbsp;\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0438 \u0441&nbsp;\u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c (HARP). \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e.\r\n<\/p><\/div>\r\n        <\/div>\r\n            <\/div>\r\n    <div class=\"character\">\r\n        <div class=\"title\">\u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n        <div class=\"character-list\">\r\n                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        <\/div>\r\n    <\/div>\r\n    <a href=\"\/catalog\/equipment\/sukhoe\/sistema-plazmokhimicheskogo-travleniya-kremniya-s-induktivno-svyazannoy-plazmoy-icp\/\" class=\"custom-link\"><\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n<div class=\"elem-snippet \">\r\n    <div class=\"img-wrapper\">\r\n        <img src=\"\/upload\/iblock\/0be\/1epkbksa00110g3xmns2j1y9st9vkgrt\/%D0%A1%D0%B8%D1%81%D1%82%D0%B5%D0%BC%D0%B0%20%D0%9F%D0%A5%D0%A2%20MR6000_ICP_s.png\" alt=\"\">\r\n    <\/div>\r\n    <div class=\"logo-wrapper\">\r\n        <img src=\"\/upload\/iblock\/0be\/1epkbksa00110g3xmns2j1y9st9vkgrt\/%D0%A1%D0%B8%D1%81%D1%82%D0%B5%D0%BC%D0%B0%20%D0%9F%D0%A5%D0%A2%20MR6000_ICP_s.png\" alt=\"\">\r\n    <\/div>\r\n    <div class=\"info\">\r\n                <span class=\"snippet-link\">\u0421\u0435\u0440\u0438\u044f \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0432 \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e-\u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435 (ICP\/TCP)<\/span>\r\n        <div class=\"snippet-descr-wrap\">\r\n            <div class=\"snippet-descr js-ellipsis\" data-cut-height=\"50\"><p>\r\n <strong>MR200\/2000\/6000_<\/strong><strong>ICP<\/strong>&nbsp;\u2014 \u0441\u0435\u0440\u0438\u044f \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432 \u0432&nbsp;\u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e-\u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435. \u0414\u0438\u0437\u0430\u0439\u043d \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0438&nbsp;\u0435\u0435&nbsp;\u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0445 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0435\u0439 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u0430\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u0438 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438&nbsp;\u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0442\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0445 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0435\u0439 \u0434\u0430\u0435\u0442 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438&nbsp;\u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432, \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u0430&nbsp;\u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432 \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u044b A3B5.\r\n<\/p>\r\n <br><\/div>\r\n        <\/div>\r\n            <\/div>\r\n    <div class=\"character\">\r\n        <div class=\"title\">\u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n        <div class=\"character-list\">\r\n                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        <\/div>\r\n    <\/div>\r\n    <a href=\"\/catalog\/equipment\/sukhoe\/seriya-ustanovok-dlya-plazmokhimicheskogo-travleniya-sloev-v-induktivno-svyazannoy-plazme-icp-tcp\/\" class=\"custom-link\"><\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n<div class=\"elem-snippet \">\r\n    <div class=\"img-wrapper\">\r\n        <img src=\"\/upload\/iblock\/abf\/u1lj4eezf4f454lgm2kefqrr9msrkkq5\/%D0%A1%D0%B8%D1%81%D1%82%D0%B5%D0%BC%D0%B0%20%D0%9F%D0%A5%D0%A2%20MR6000_CCP_s.png\" alt=\"\">\r\n    <\/div>\r\n    <div class=\"logo-wrapper\">\r\n        <img src=\"\/upload\/iblock\/abf\/u1lj4eezf4f454lgm2kefqrr9msrkkq5\/%D0%A1%D0%B8%D1%81%D1%82%D0%B5%D0%BC%D0%B0%20%D0%9F%D0%A5%D0%A2%20MR6000_CCP_s.png\" alt=\"\">\r\n    <\/div>\r\n    <div class=\"info\">\r\n                <span class=\"snippet-link\">\u0421\u0435\u0440\u0438\u044f \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0432 \u0451\u043c\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e-\u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435 (CCP)<\/span>\r\n        <div class=\"snippet-descr-wrap\">\r\n            <div class=\"snippet-descr js-ellipsis\" data-cut-height=\"50\"><p>\r\n\t<strong>MR200\/2000\/6000_CCP&nbsp;<\/strong>\u2014 \u0441\u0435\u0440\u0438\u044f \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432 \u0432&nbsp;\u0451\u043c\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e-\u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435. \u0414\u0438\u0437\u0430\u0439\u043d \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0445 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0435\u0439 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d \u0434\u043b\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438&nbsp;\u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432, \u043a\u0430\u043a: SiO<sub>2<\/sub>, Si<sub>3<\/sub>N<sub>4<\/sub>, SiON.\r\n<\/p><\/div>\r\n        <\/div>\r\n            <\/div>\r\n    <div class=\"character\">\r\n        <div class=\"title\">\u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n        <div class=\"character-list\">\r\n                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        <\/div>\r\n    <\/div>\r\n    <a href=\"\/catalog\/equipment\/sukhoe\/seriya-ustanovok-dlya-plazmokhimicheskogo-travleniya-razlichnykh-sloev-v-yemkostno-svyazannoy-plazme\/\" class=\"custom-link\"><\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n<div class=\"elem-snippet \">\r\n    <div class=\"img-wrapper\">\r\n        <img src=\"\/upload\/iblock\/498\/ss4lp2eka2ab6ed7gsiucyviv91slk1a\/ET_s.jpg\" alt=\"\">\r\n    <\/div>\r\n    <div class=\"logo-wrapper\">\r\n        <img src=\"\/upload\/iblock\/498\/ss4lp2eka2ab6ed7gsiucyviv91slk1a\/ET_s.jpg\" alt=\"\">\r\n    <\/div>\r\n    <div class=\"info\">\r\n                <span class=\"snippet-link\">\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/span>\r\n        <div class=\"snippet-descr-wrap\">\r\n            <div class=\"snippet-descr js-ellipsis\" data-cut-height=\"50\"><p>\r\n <strong>ET-SE&nbsp;<\/strong>\u2014 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438&nbsp;\u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f. \u041f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0432\u0430\u0440\u044c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442&nbsp;\u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u043e&nbsp;\u043a\u043e\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e, \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u0438\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438&nbsp;\u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043e\u043a\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u0430&nbsp;\u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u0435\u0439 \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0433\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430\u043c\u0438 (MTBC).\r\n<\/p><\/div>\r\n        <\/div>\r\n            <\/div>\r\n    <div class=\"character\">\r\n        <div class=\"title\">\u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n        <div class=\"character-list\">\r\n                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        <\/div>\r\n    <\/div>\r\n    <a href=\"\/catalog\/equipment\/sukhoe\/ustanovka-plazmokhimicheskogo-travleniya-polikremniya\/\" class=\"custom-link\"><\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n<div class=\"elem-snippet \">\r\n    <div class=\"img-wrapper\">\r\n        <img src=\"\/upload\/iblock\/173\/0owg59nuiyv0undjazr8udl3lf7ua02g\/ET_s.jpg\" alt=\"\">\r\n    <\/div>\r\n    <div class=\"logo-wrapper\">\r\n        <img src=\"\/upload\/iblock\/173\/0owg59nuiyv0undjazr8udl3lf7ua02g\/ET_s.jpg\" alt=\"\">\r\n    <\/div>\r\n    <div class=\"info\">\r\n                <span class=\"snippet-link\">\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432<\/span>\r\n        <div class=\"snippet-descr-wrap\">\r\n            <div class=\"snippet-descr js-ellipsis\" data-cut-height=\"50\"><p>\r\n <strong>ET-DE&nbsp;<\/strong>\u2014 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432. \u041e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u0438\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438&nbsp;\u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043e\u043a\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u0430&nbsp;\u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u0435\u0439 \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0433\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430\u043c\u0438 (MTBC).\r\n<\/p><\/div>\r\n        <\/div>\r\n            <\/div>\r\n    <div class=\"character\">\r\n        <div class=\"title\">\u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n        <div class=\"character-list\">\r\n                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        <\/div>\r\n    <\/div>\r\n    <a href=\"\/catalog\/equipment\/sukhoe\/ustanovka-plazmokhimicheskogo-travleniya-dielektricheskikh-sloev\/\" class=\"custom-link\"><\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n<div class=\"elem-snippet \">\r\n    <div class=\"img-wrapper\">\r\n        <img src=\"\/upload\/iblock\/e21\/s0c12ik2ncr1xmkccnxuapwqev1plnsy\/ET_s.jpg\" alt=\"\">\r\n    <\/div>\r\n    <div class=\"logo-wrapper\">\r\n        <img src=\"\/upload\/iblock\/e21\/s0c12ik2ncr1xmkccnxuapwqev1plnsy\/ET_s.jpg\" alt=\"\">\r\n    <\/div>\r\n    <div class=\"info\">\r\n                <span class=\"snippet-link\">\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/span>\r\n        <div class=\"snippet-descr-wrap\">\r\n            <div class=\"snippet-descr js-ellipsis\" data-cut-height=\"50\"><p>\r\n <strong>ET-D<\/strong><strong>S<\/strong><strong>E&nbsp;<\/strong>\u2014 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f. \u041f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0432\u0430\u0440\u044c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442&nbsp;\u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u043e&nbsp;\u043a\u043e\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e, \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u0438\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438&nbsp;\u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 (&lt; 5&nbsp;%), \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432&nbsp;Si, \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043e\u043a\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u0430&nbsp;\u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u0435\u0439 \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0433\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430\u043c\u0438 (MTBC).\r\n<\/p><\/div>\r\n        <\/div>\r\n            <\/div>\r\n    <div class=\"character\">\r\n        <div class=\"title\">\u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n        <div class=\"character-list\">\r\n                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        <\/div>\r\n    <\/div>\r\n    <a href=\"\/catalog\/equipment\/sukhoe\/ustanovka-glubokogo-travleniya-kremniya\/\" class=\"custom-link\"><\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n<div class=\"elem-snippet \">\r\n    <div class=\"img-wrapper\">\r\n        <img src=\"\/upload\/iblock\/de9\/htbyzl6bckc31v9i6qtohca157pi9hzc\/ET_s.jpg\" alt=\"\">\r\n    <\/div>\r\n    <div class=\"logo-wrapper\">\r\n        <img src=\"\/upload\/iblock\/de9\/htbyzl6bckc31v9i6qtohca157pi9hzc\/ET_s.jpg\" alt=\"\">\r\n    <\/div>\r\n    <div class=\"info\">\r\n                <span class=\"snippet-link\">\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432<\/span>\r\n        <div class=\"snippet-descr-wrap\">\r\n            <div class=\"snippet-descr js-ellipsis\" data-cut-height=\"50\"><p>\r\n <strong>ET-<\/strong><strong>M<\/strong><strong>E&nbsp;<\/strong>\u2014 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0441&nbsp;\u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u043e\u0439 \u0430\u043d\u0442\u0438\u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0439\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438. \u041f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u0435\u043c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u0438\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043e\u043a\u043d\u043e\u043c, \u0430&nbsp;\u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u0435\u0439 \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0433\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430\u043c\u0438 (MTBC).\r\n<\/p><\/div>\r\n        <\/div>\r\n            <\/div>\r\n    <div class=\"character\">\r\n        <div class=\"title\">\u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n        <div class=\"character-list\">\r\n                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        <\/div>\r\n    <\/div>\r\n    <a href=\"\/catalog\/equipment\/sukhoe\/ustanovka-plazmokhimicheskogo-travleniya-metallicheskikh-sloev\/\" class=\"custom-link\"><\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n<div class=\"elem-snippet \">\r\n    <div class=\"img-wrapper\">\r\n        <img src=\"\/upload\/iblock\/6d9\/y642kuikt7p1oy4yep9kk1sjouzxc2xv\/ET_s.jpg\" alt=\"\">\r\n    <\/div>\r\n    <div class=\"logo-wrapper\">\r\n        <img src=\"\/upload\/iblock\/6d9\/y642kuikt7p1oy4yep9kk1sjouzxc2xv\/ET_s.jpg\" alt=\"\">\r\n    <\/div>\r\n    <div class=\"info\">\r\n                <span class=\"snippet-link\">\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432<\/span>\r\n        <div class=\"snippet-descr-wrap\">\r\n            <div class=\"snippet-descr js-ellipsis\" data-cut-height=\"50\"><p>\r\n <strong>ET-<\/strong><strong>PM<\/strong><strong>E <\/strong>\u2013 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432. \u041e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u043c\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b (CD), \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u043d\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0435. \u041f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432.\r\n<\/p><\/div>\r\n        <\/div>\r\n            <\/div>\r\n    <div class=\"character\">\r\n        <div class=\"title\">\u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n        <div class=\"character-list\">\r\n                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        <\/div>\r\n    <\/div>\r\n    <a href=\"\/catalog\/equipment\/sukhoe\/ustanovka-plazmokhimicheskogo-travleniya-fotoshablonov\/\" class=\"custom-link\"><\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n<div class=\"elem-snippet \">\r\n    <div class=\"img-wrapper\">\r\n        <img src=\"\/upload\/iblock\/c96\/t8wgm25hhvyhpyn469hs62ygj0603xel\/%D0%9F%D0%A5%D0%A2%20Plasma-E%2B_s.jpg\" alt=\"\">\r\n    <\/div>\r\n    <div class=\"logo-wrapper\">\r\n        <img src=\"\/upload\/iblock\/c96\/t8wgm25hhvyhpyn469hs62ygj0603xel\/%D0%9F%D0%A5%D0%A2%20Plasma-E%2B_s.jpg\" alt=\"\">\r\n    <\/div>\r\n    <div class=\"info\">\r\n                <span class=\"snippet-link\">\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (RIE, ICP-RIE)<\/span>\r\n        <div class=\"snippet-descr-wrap\">\r\n            <div class=\"snippet-descr js-ellipsis\" data-cut-height=\"50\"><p>\r\n\t\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 <strong>Plasma-E+<\/strong> \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a: \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u0438&nbsp;\u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438 \u0438&nbsp;\u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b, Si, SiC, \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439, \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b. \u041c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c, \u041c\u042d\u041c\u0421, \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438, \u0430&nbsp;\u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0435 \u0441&nbsp;\u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u044b \u04103\u04125. \u041a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043d\u044b\u0445 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0435\u0439 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043e\u0442&nbsp;\u0442\u0438\u043f\u0430 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0435\u0451&nbsp;\u0432\u044b\u0431\u0438\u0440\u0430\u044e\u0442, \u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u044f \u0438\u0437&nbsp;\u0437\u0430\u043f\u0440\u043e\u0441\u0430 \u0437\u0430\u043a\u0430\u0437\u0447\u0438\u043a\u0430 (ICP\/CCP\/\u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0438\u043b\u0438 \u0430\u043d\u0442\u0438\u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430). \u041f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0438\u0437&nbsp;\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 (Si, SiC, GaAs, GaN, \u0441\u0430\u043f\u0444\u0438\u0440 \u0438&nbsp;\u0434\u0440.).\r\n<\/p><\/div>\r\n        <\/div>\r\n            <\/div>\r\n    <div class=\"character\">\r\n        <div class=\"title\">\u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/div>\r\n        <div class=\"character-list\">\r\n                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        <\/div>\r\n    <\/div>\r\n    <a href=\"\/catalog\/equipment\/sukhoe\/sistema-plazmokhimicheskogo-travleniya-rie-icp-rie\/\" class=\"custom-link\"><\/a>\r\n<\/div>"}