30 сентября 2020

EV Group выходит на рынок оборудования для крупносерийного микроэлектронного производства с новой системой безмасковой литографии LITHOSCALE®

Санкт-Флориан, Австрия, 22 сентября 2020 г.

Компания EV Group (EVG), ведущий поставщик оборудования для процессов бондинга пластин и литографических процессов для рынков МЭМС, нанотехнологий и полупроводников, представила систему безмаскового экспонирования LITHOSCALE®, которая является первой платформой такого рода, и в которой использованы революционные решения компании EVG в области безмаскового экспонирования — технология MLE™ (Maskless Exposure).

Система LITHOSCALE® была разработана компанией EVG для удовлетворения потребностей в процессах литографии для различных сегментов рынка микроэлектроники и применений, требующих высокой степени гибкости или вариативности продукта, включая современную упаковку (advance packaging), МЭМС, производство биомедицинских устройств и полупроводниковых подложек.

Система LITHOSCALE® сочетает в себе высокое разрешение без ограничений по полю экспонирования, мощную систему цифровой обработки, которая обеспечивает передачу данных в реальном времени и незамедлительное экспонирование, а также, что немало важно — масштабируемую конструкцию. Результатом является первая в мире система безмасковой литографии для крупносерийного производства с увеличением производительности в 5 раз по сравнению с существующими на рынке системами безмаскового экспонирования.

Компания EVG уже получила несколько заказов на систему LITHOSCALE® и начнет их поставки клиентам в конце 2020 года.

Система LITHOSCALE® использует технологию EVG MLE™ (Maskless Exposure), позволяющую использовать преимущества цифровой литографии для широкого спектра применений и различных сегментов рынка микроэлеткроники.

Система LITHOSCALE® исключает расходы, связанные с использование фотошаблонов, благодаря технологии безмаскового экспонирования, а используемый в системе твердотельный лазерный источник излучения, с возможностью настройки, разработан для обеспечения высокой производительности, долговременной стабильности и надежности, практически не требуя обслуживания и повторной калибровки.

Более подробно можно будет узнать и обсудить систему LITHOSCALE® с представителями компании EVG на выставке SEMICON Taiwan 2020, которая состоится в выставочном центре Taipei Nangang, зал 1 (TaiNEX 1) с 23 по 25 сентября 2020 года или получить информацию от официального представителя компании на рынке России компании ООО «Остек-ЭК».