23 июня 2021

Компания EV Group представляет систему наноимпринтной литографии нового поколения

Компания EV Group (EVG), ведущий поставщик оборудования для процессов бондинга пластин и литографических процессов на рынке по производству МЭМС, нанотехнологий и различного рода полупроводниковой продукции, анонсировала систему наноимпринтной литографии (НИЛ) EVG®770 NT нового поколения. Эта система — НИЛ-степпер. Обеспечивает точное воспроизведение микро- и наноразмеров для изготовления мастер-штампов большой площади, используемых при серийном производстве волноведущих структур для систем дополненной реальности, многоуровневой оптики и биомедицинских систем — «лаборатория-на-кристалле».

До настоящего момента основное ограничение, с которыми сталкивалось серийное производство, — это доступность точных мастер-штампов для больших площадей поверхности. Используя многолетний опыт в области НИЛ, компания EVG разработала НИЛ-степпер EVG770 NT как систему, полностью ориентированную на серийное производство, что позволяет достичь максимальной производительности и управляемости процесса. EVG770 NT обеспечивает лучшую в отрасли точность, разрешение и сшивку с возможностью масштабирования до пластин с диаметром 300 мм и панелей формата Gen-2. Как результат — появилась возможность реализации серийного, экономичного и высокоточного НИЛ-структурирования.

Преимущества НИЛ-степпера

Многоуровневая оптика — один из основных рынков, способствующих внедрению НИЛ, позволила создать совершенно новые устройства для мобильных устройств в потребительской электронике. От улучшенного автофокуса для цифровых камер смартфонов и распознавания лиц для дополнительной безопасности до 3D-моделирования и улучшений изображений для дополненной и виртуальной реальности.

Возможность копировать более крупные мастер-штампы на подложки все большего размера позволяет производить больше устройств одновременно, а также масштабировать производство более крупных отдельных устройств без процесса сшивки. Этот подход обладает значительными преимуществами в производительности и стоимости конечного продукта по сравнению с традиционными процессами, такими как прямая лазерная и электронно-лучевая литография, которые трудно масштабировать до подложек большого размера из-за их низкой производительности и высокой стоимости реализации.

«EV Group потратила более десяти лет на разработку и усовершенствование данной технологии, чтобы предоставить преимущества серийного производства совместно с НИЛ широкому спектру рынков. Результатом этих усилий стала модель EVG770 NT, которая обеспечивает отсутствие недостающего звена, соединяющего микрооптику произвольной формы или наноразмерные изображения высокой точности с требованиями к рентабельному крупномасштабному производству. Благодаря этому революционному решению наши клиенты теперь могут создавать свои собственные мастер-штампы и использовать весь процесс НИЛ внутри компании, обеспечивая тем самым большую гибкость и более быструю смену производственных циклов. Для клиентов, желающих изучить возможность использования НИЛ, EVG предлагает услуги изготовления штампов в Центре компетенции NILPhotonics® — нашем инкубаторе инноваций с открытым доступом для клиентов и партнеров» — говорит д-р Томас Глинснер, директор по корпоративным технологиям компании EV Group.

Получить более подробную информацию о возможностях EVG®770 NT и других системах для наноимпринтной литографии можно у эксклюзивного представителя EVG — компании «Остек-ЭК» по телефону: +7 495 788-44-44 или по email: info@ostec-group.ru, ostec.micro@gmail.com.