11 августа 2021

Компания EV Group запускает новую услугу по изготовлению мастер-штампов для наноимпринтной литографии

Благодаря EVG S&R Mastering Shop™ барьеры для внедрения наноимпринтной литографии (НИЛ) для серийного производства микроэлектронных изделий, получаемых на уровне пластины и панели — оптические датчики, микролинзы, нанофотоника и кремниевая фотоника, — стремительно рушатся.

EV Group (EVG), ведущий поставщик оборудования для сварки пластин и литографии для рынков МЭМС, нанотехнологий и полупроводников, объявила о создании EVG Step-and-Repeat (S&R) Mastering Shop — это новая услуга, которая поможет клиентам ускорить внедрение НИЛ в крупносерийное производство. EVG S&R Mastering Shop™ использует собственное оборудование и чистые помещения для контрактного производства мастер-шаблонов и штампов большой площади, используемых для изготовления рабочих штампов для НИЛ.

Устраняя капитальные затраты, связанные с владением специализированными системами S&R для изготовления эталонных штампов, заказчики смогут легко интегрировать технологию НИЛ в свои новые продукты. Устройства и приложения, использующие решения EVG S&R NIL, включают волноведущие структуры для дополненной реальностью, микрооптику, микролинзы, нанофотонику и кремниевую фотонику. Магазин EVG S&R Mastering Shop является ключевым дополнением к системе центра компетенций EVG NILPhotonics®, расположенного в штаб-квартире EVG в Австрии.

Используя услуги S&R, мастер-штамп большой площади может быть изготовлен в виде одинарного «жесткого мастера». Затем этот мастер-штамп можно использовать для репликации десятков или сотен рабочих штампов, которые используются для печати функциональных структур на подложках. Этот метод репликации сводит к минимуму износ и риск внесения дефектов в дорогостоящий мастер-штамп.

EVG — единственная компания в мире, которая предлагает полный спектр продуктов, услуг и экспертных знаний для услуг изготовления S&R и НИЛ на уровне пластин, что позволяет быстро и экономично масштабировать продукты с поддержкой НИЛ: от НИОКР до крупносерийного производства.

В рамках нового предложения EVG по предоставлению услуг по S&R — «Магазин EVG S&R Mastering Shop» — компания создала новые чистые помещения со специальными системами S&R и метрологией для контрактных услуг. Мастерская EVG S&R Mastering Shop использует недавно представленные EVG770 NT НИЛ-степперы, которые позволяют изготавливать мастер-штампы большой площади на подложках размером до 300 мм и панелях Gen-2 (370×470 мм) с лучшими в отрасли точностью и разрешением наложения.

Помимо мастер-штампов EVG изготавливает рабочие штампы и оригинальные штампы для клиентов. В рамках своего центра компетенции NILPhotonics EVG также предлагает разработку НИЛ-процессов, аттестацию и оптимизацию материалов, создание прототипов устройств и производство пилотных линий — с высочайшим уровнем конфиденциальности и защитой интеллектуальной собственности.

EVG S&R Mastering Shop теперь открыт для обслуживания клиентов в штаб-квартире EVG. Получить более подробную информацию о предоставляемых возможностях можно у эксклюзивного представителя EVG компании «Остек-ЭК» по телефону: +7 495 788-44-44 или по email: info@ostec-group.ru, ostec.micro@gmail.com.