16 февраля 2021

MicroProf® DI – новейшая система дефектинспекции от компании FRT GmbH

  • MicroProf® DI — высокоточная система для инспекции поверхности пластины на полупроводниковом производстве.
  • MicroProf® DI — сочетание метрологии, оптического контроля и инспекции дефектов в одной полностью автоматизированной измерительной системе.
  • MicroProf® DI — система оптического контроля и поиска дефектов, позволяющая проверять структурированные и неструктурированные пластины в течение всего производственного процесса.

Инновационная концепция MicroProf® DI делает видимыми различные типы дефектов и позволяет обнаруживать локальные сбои, посторонние включения, загрязнения и множество других дефектов, критичных на полупроводниковом производстве. MicroProf® DI состоит из нескольких модулей, которые можно гибко комбинировать на одной инструментальной платформе, выполняя анализ всей поверхности пластины с высокой производительностью.

Модульная платформа MicroProf® DI охватывает широчайший спектр задач на производстве полупроводниковых микросхем, включая аттестацию по входному и выходному контролю; позволяет проводить исследования, разработки и мониторинг всего процесса благодаря сочетанию 2D- и 3D-технологий поиска дефектов.

Использование системы дефектинспекции на полупроводниковом производстве увеличивает выход продукции и снижает затраты за счет предотвращения дальнейшей обработки дефектных пластин. MicroProf® DI находит, идентифицирует и классифицирует дефекты на самой ранней стадии, обеспечивая необходимую основу для серийного производства — выявление брака на начальном этапе.

Получить более подробную информацию о возможностях MicroProf® DI и других системах для автоматической оптической инспекции можно у официального представителя FRT GmbH — компании «Остек-ЭК» по телефону: +7 495 788-44-44 или по email: info@ostec-group.ru, ostec.micro@gmail.com.