В начале октября в Алуште, Республика Крым, состоялось событие года в области микроэлектроники — Форум «Микроэлектроника 2021».
В ряде докладов различных секций обсуждались перспективы развития микроэлектронной отрасли в России, для чего необходимо сделать шаг в сторону более современных технологий в сравнении с используемыми сейчас.
Одна из ключевых технологий микроэлектронной отрасли — электрохимическое осаждение (ECD — electrochemical deposition). Без этой технологии невозможно создать ни одно электронное устройство.
На протяжении нескольких десятилетий простейшего ECD-реактора в виде электролитической ванны было достаточно для формирования практически любых металлических покрытий. Но технологии развиваются, и возникают новые требования к самому процессу и к качеству покрытия (его плотности и однородности). С появлением процессов производства микроэлектронных изделий, использующих глубокие или сквозные отверстия, технологи на полупроводниковом производстве оказались в тупике, так как ни одна электролитическая ванна даже с функцией покачивания пластин, перемешивания электролита и «умными» источниками питания не могла обеспечить заполнение таких отверстий. Еще одной проблемой для технологов стало требование по равномерности покрытия на больших поверхностях (на пластинах 200 и 300 мм), что тоже оказалось невыполнимо в простой электролитической ванне.
Решением стал современный ECD-реактор, обработка в котором ведется по одной пластине, причем с ее вращением. Именно такая конструкция позволила добиться необходимой однородности покрытия по большой площади и даже в отверстиях с аспектным соотношением 1:10 и диаметром 20 мкм.
Компания «Остек-ЭК» при содействии технологического партнера RENA Technologies (Германия) в своем докладе об оптимизации электрохимических процессов представила возможности современной ECD-системы последнего поколения.
Современная ECD-установка обеспечивает:
Более подробную информацию о технологических возможностях системы ECD последнего поколения можно получить у специалистов компании «Остек-ЭК» по e-mail: ostec.micro@gmail.com или по телефону: