18 сентября 2017

Решения для временного монтажа. Разделение пластин при помощи лазера

Лазерное решение

evg850db.jpg
Длина волны

Разделение пластин с использованием УФ-лазера исключает термический удар по пластине со сформированными приборами, поскольку в процессе разрушения адгезивного слоя основную роль играет фотохимическая реакция и разрушение химических связей на границе раздела подложка/пластина-носитель. В результате этого фотохимического разложения достигается разрушение адгезивного слоя. Преобладание фотохимического разрушения адгезивного слоя, отсутствие термического удара, простота использования, а также наличие различных коммерчески доступных материалов для разделения пластин УФ-лазером делают это решение более предпочтительным среди методов с использованием лазера с другими длинами волн.

Профиль луча

Оптимальным профилем луча для разрушения адгезивного слоя является профиль top hat, минимизирующий и исключающий любое тепловое воздействие. Поскольку разрушение адгезивного слоя лазером является пороговым процессом, любая энергия ниже этого порога приводит к избыточному нагреву. То же самое относится к избыточной энергии выше порогового уровня, которая приводит к карбонизации.

Следовательно, профиль top hat лучше всего обеспечивают эффективное и надежное разрушение адгезивного слоя.

Расходные материалы

Эксплуатационные издержки являются ключевым элементом в стоимости владения оборудованием. Эксимерные и твердотельные лазеры относятся к ультрафиолетовой области спектра и различаются по типу расходных материалов. Для эксимерного лазера расходные материалы, такие как галогенный газ, лазерная трубка и галогенный фильтр приводят к более высоким эксплуатационным издержкам по сравнению с заменяемым лазерным диодом и УФ-узлом в твердотельном лазере.

Сравнение разрушения адгезии лазером

adhesion.jpg