ООО «Остек-ЭТК»
Молодогвардейская ул., д. 7, стр. 4, Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru, etc@ostec-group.ru
ИНН 7731481052, КПП 773101001, ОГРН 5147746189058,
ОКПО 17183453

Забыли пароль?

E-mail
Для восстановления пароля введите E-mail, указанный при регистрации.
На ваш E-mail будет выслано письмо с дальнейшими инструкциями.
EN  RU
Группа Остек
18 сентября 2017

Решения для временного монтажа. Разделение пластин при помощи лазера

Лазерное решение

evg850db.jpg
Длина волны

Разделение пластин с использованием УФ-лазера исключает термический удар по пластине со сформированными приборами, поскольку в процессе разрушения адгезивного слоя основную роль играет фотохимическая реакция и разрушение химических связей на границе раздела подложка/пластина-носитель. В результате этого фотохимического разложения достигается разрушение адгезивного слоя. Преобладание фотохимического разрушения адгезивного слоя, отсутствие термического удара, простота использования, а также наличие различных коммерчески доступных материалов для разделения пластин УФ-лазером делают это решение более предпочтительным среди методов с использованием лазера с другими длинами волн.

Профиль луча

Оптимальным профилем луча для разрушения адгезивного слоя является профиль top hat, минимизирующий и исключающий любое тепловое воздействие. Поскольку разрушение адгезивного слоя лазером является пороговым процессом, любая энергия ниже этого порога приводит к избыточному нагреву. То же самое относится к избыточной энергии выше порогового уровня, которая приводит к карбонизации.

Следовательно, профиль top hat лучше всего обеспечивают эффективное и надежное разрушение адгезивного слоя.

Расходные материалы

Эксплуатационные издержки являются ключевым элементом в стоимости владения оборудованием. Эксимерные и твердотельные лазеры относятся к ультрафиолетовой области спектра и различаются по типу расходных материалов. Для эксимерного лазера расходные материалы, такие как галогенный газ, лазерная трубка и галогенный фильтр приводят к более высоким эксплуатационным издержкам по сравнению с заменяемым лазерным диодом и УФ-узлом в твердотельном лазере.

Сравнение разрушения адгезии лазером

adhesion.jpg