18 декабря 2020

Успешный запуск установки прецизионного утонения VRG-300F, AM Technology (Корея)

Компания Остек-ЭК уже не первый год сотрудничает с AM Technology ─ корейским производителем установок прецизионного утонения (кремниевых пластин, карбида кремния, керамики и пр.) для полупроводниковой промышленности.

В ноябре 2020 года наша команда запустила очередную установку AM Technology ─ VRG-300F. Это оборудование работает в полуавтоматическом режиме и предназначено для утонения пластин диаметром до 300 мм, что обозначено в названии модели. Установка идеально подходит под задачи заказчика: утонение кремниевых пластин диаметром 100-300 мм до толщин в 100-150 микрон.

В соответствии со стандартами сервисной службы Остека запуск оборудования включает:

  • настройку параметров с учётом требуемой заказчику технологии,
  • тестовый выпуск годных образцов.

На фото представлены утонённые пластины, полученные в ходе тестирования:

  • 12-дюймовая пластина, утонённая с 900 до 200 микрон,
  • пластины диаметром 100 и 50 мм, утонённые с 600 до 150 микрон.

Для шлифования использовался диск с зернистостью 400 меш.

Установка оснащена станцией измерения толщины пластины в процессе шлифования. Процесс очистки шлифовального диска и измерение толщины пластины можно проводить как в ручном, так и в автоматическом режимах. В качестве опции оборудование было дооснащено установками фильтрации и поддержания температуры воды для рециркуляции технических вод.