27 ноября 2018

Встречи с нашими партнерами на выставках Electronica и SEMICON Europa 2018

С 13 по 16 ноября 2018г. в Мюнхене (Германия) прошли крупнейшие международные выставки Electronica и SEMICON Europa, посвященные полупроводниковым технологиям и электронным компонентам, комплектующим, системам и приборам.

Эксперты Остек-ЭК при участии высококвалифицированных специалистов компаний-партнеров провели ряд экскурсий по стендам выставки с освещением новейших технологий и достижений в области микроэлектроники.

При содействии научно-технического журнала «Электроника: Наука, Технология, Бизнес» был проведен ряд интервью с нашими партнерами. Интервью будут опубликованы в ближайших выпусках журналов «Вектор высоких технологий» и «Электроника: НТБ».

Наши встречи и интервью

EV Group— мировой лидер в области высокотехнологичных решений для изготовления МЭМС, силовых компонентов на основе кремния, а также структур кремний на изоляторе (КНИ). Компания EVG является зарекомендовавшим себя производителем оборудования для фотолитографии/наноимпринтной литографии, сварки пластин и визуального контроля.

Последнее достижение компании — это отработка технологии для получения структур с размерами 12 нм при использовании наноимпринтной литографии в ближайшее время. На данный момент доступно получение структур с размерами до 25 нм.

AP&S — одна из крупнейших европейских компаний по производству оборудования для жидкостной обработки в полупроводниковой и микроэлектронной промышленности. AP&S предлагает эффективные решения для всевозможных жидкостных технологических процессов и оборудование для рынков MEMS и микроструктурирования, системы для очистки и сушки всех существующих типов носителей, контейнеров для полупроводниковых пластин SMIF, FOUP и др., а также для разлитого типа полупроводниковых пластин, лабораторное оборудование и эффективные решения для систем по работе с химическими веществами.

На выставке была проведена презентация новейшей многофункциональной системы для работы с 300 мм пластинами TeraStep®. Это инновационная установка для жидкостной химической обработки, которая может применяться в самых разных химических процессах, включая чистку, травление, удаление фоторезиста и проявление.

FRT — одна из крупнейших европейских компаний по производству оборудования для многофункциональных метрологических приборов для использования как в разработках, так и на производстве. Эффективные решения, предлагаемые компанией FRT, предназначены для контроля качества изделий и прецизионной 3D-метрологии поверхности. Конструкция приборов основана на мультисенсорной концепции, что обеспечивает многообразность их применений.

На выставке была представлена многофункциональная система MicroProf 200 в расширенной комплектации для работы с 200 мм пластинами и возможностью контроля многочисленных параметров благодаря мультисенсорному дизайну.

Основным подходом, на котором базируется вся линейка оборудования FRT, является мультисенсорность и возможность дальнейшего усовершенствования оборудования до полностью автоматического варианта. Основные модели MicroProf 200 и MicroProf 300 можно в дальнейшем дополнить роботом-манипулятором и загрузчиком пластин размером до 300 мм, тем самым превратить ее в полностью автоматическую систему для оптической инспекции.

ADT — мировой лидер в области разработки и производства установок для прецизионной резки и систем лазерного скрайбирования, дисков для резки полупроводниковых пластин на кристаллы, а также технологических процессов, используемых в прецизионной резке кремниевых полупроводниковых интегральных микросхем, твердых микроэлектронных компонентах и в корпусировании подложек.

На выставке была анонсирована новейшая, полностью автоматическая установка серии 8020 с двумя шпинделями для работы с 200 мм пластинами. Данная установка позволяет существенно повысить производительность и выход годных за счет одновременный работы двух мощных шпинделей и высокой точности реза.

Также одной из тем для обсуждения было увеличение производства оборудования для работы с 300 мм пластинами, как полуавтоматического, так и полностью автоматических систем в связи с существенным увеличением данного сегмента ранка.

Centrotherm thermal solutions — ведущий производитель технологического оборудования для термических процессов, фотовольтаике, нанотехнологий, полупроводниковой и тонкопленочной технологий. Компания входит в состав группы компаний Сentrotherm photovoltaics AG — мирового лидера, занимающегося поставками технологических решений и услуг для производства солнечных элементов. Технологическое оборудование компании поставляется для крупнейших мировых производителей полупроводникового оборудования и международных исследовательских институтов.

На выставке была проведена презентация новейшей полностью автоматической системы для работы с полупроводниковыми пластинами диаметром 300 мм — c.HORICOO 300. Данная система состоит из четырех горизонтальных реакторов с пятью двухзонными нагревательными элементами для каждого реактора, что позволяет обеспечить превосходную однородность температуры и стабильность процесса. Рабочая температура до 1200ºС позволяет проводить более быстрые процессы окисления, а модификация Hydrox поддерживает процессы мокрого окисления с различным процентным содержанием влаги в реакторе.