17 Октября 2009
Автор и должность
Александров Сидоров
Посмотреть в формате pdf

Технология производства микроэлектромеханических систем (МЭМС) — одна из наиболее передовых технологий, позволяющая не только значительно улучшать характеристики электронной аппаратуры, но и создавать устройства для решения задач в совершенно новых областях.