13 Апреля 2012
Автор и должность
Александр Васильев, Евгений Борисов
Издание
Степень интеграции № 7, апрель 2012
Посмотреть в формате pdf

Сегодня уже сложно представить современную электронику без микроэлектромеханических си- стем, т.е. МЭМС. Акселерометры в мобильных телефонах и планшетах, датчики давления в ав- томобильных шинах, датчики угловых скоростей и гироскопы в приборах для авиации — лишь немно- гие примеры широкого использования технологий МЭМС во всех сферах современной электроники.