Система быстрой термической обработки ULTECH REAL RTP-200 (RTP System)

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Система быстрой термической обработки ULTECH REAL RTP-200 (RTP System)

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

Система REAL RTP-200 предназначена для термической обработки пластин в вакууме или инертной среде, может применяться для различных процессов в условиях как лабораторного, так и мелкосерийного производства

Применение:

быстрый термический отжиг;
окисление, образование диэлектрической пленки;
послеимплантационный отжиг;
пайка эвтектическим сплавом (реактивная пайка металлов);
образование силицидов (TiSi, CoSi...);
образование соединения кремния с металлом.

Размер образцов и пропускная способность	одна пластина размером до 8″
Температура нагревателя	до 1250 °С
Температурная неравномерность	±3 °С
Технологические газы	до 3 каналов (контролируются регуляторами массового расхода)
Предельный вакуум	≤ 5×10 — 3 Торр (1×10 — 6 Торр — опционально)
Вакуумный насос	роторный (турбомолекулярный, безмасляный)
Управление процессом	ручное

Система быстрой термической обработки ULTECH REAL RTP-200 (RTP System)

Применение:

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование