Фильтр
Система реактивного ионного травления PERI-R

Система реактивного ионного травления PERI-R предназначена для выполнения сухого травления различных материалов: кремния, диэлектриков, полиамида на пластинах диаметром до 150 мм.

Характеристики
Система реактивного ионного травления в индуктивно-связанной плазме PERI-150

Система реактивного ионного травления в индуктивно-связанной плазме PERI-150 предназначена для выполнения высокоскоростного сухого травления различных материалов: кремния, диэлектриков, полиамидного слоя и полупроводниковых структур на пластинах диаметром до 150 мм.

Характеристики
Система реактивного ионного травления в индуктивно-связанной плазме PERI-200

Система реактивного ионного травления в индуктивно-связанной плазме PERI-200 предназначена для выполнения высокоскоростного сухого травления различных материалов: кремния, диэлектриков, полиамидного слоя и полупроводниковых структур на пластинах диаметром до 200 мм.

Характеристики