Система PES Series предназначена для осаждения кремниевых соединений, оксидов металлов и диэлектриков
Увеличенная производительность, удовлетворяющая требованиям по большому объему загрузки
Эффективное плазменное осаждение в камере сверхбольших размеров для групповой обработки
Система PD-Pro от Nordson March специально разработана для обеспечения современных производственных требований, в которых неравномерность обработки является ключом к успеху.
Настольная система атомно-слоевого осаждения (АСО) GEMStar XT – новое поколение прекрасно зарекомендовавших себя систем серии GEMStar. Системы GEMStar XT предназначены для нанесения металлических, полупроводниковых и проводящих пленок с исключительными электрическими и барьерными свойствами. Система позволяет получать высококонформные пленки на подложках со сложной топологией, в том числе с большим удлинением.
Системы Space Series предназначены для создания слоёв диэлектрика с высокой диэлектрической проницаемостью