Серия установок дисковой резки 7120/7130 со шпинделями размером 2 и 4 дюйма предоставляют высокий уровень доступности и гибкости для обеспечения ваших потребностей.
Новые тенденции в производстве полупроводниковых компонентов требуют повышения качества резки и производительности при уменьшении стоимости. Установки серии 7200 разработаны с учетом новейших требований. Они задают новые стандарты по автоматизации, производительности, простоте настройки и производственным возможностям.
Система ADT 7900 Duo с двумя рабочими шпинде-лями – предназначена для прецизионной дисковой резки широкого спектра полупроводниковых мате-риалов, разделения групповых заготовок, МЭМС-компонентов, светодиодных компонентов и многого другого.
Система, оснащенная двумя торцевыми шпинделями, позволяющими осуществлять одновременное разрезание пластины в 2 раза, повышая производительность установки. Высокоточная система может работать с пластинами различных размеров и форм. Интуитивно понятный графический интерфейс и простота настройки обеспечивают высокую эффективность работы и скорость обучения оператора.
Система рециркуляции воды модели ADT 927 предназначена для работы по замкнутому контуру с равномерной подачей воды в процессе резки.
Чиллер используется для контроля и поддержания стабильной температуры охлаждающей воды для шпинделя установки дисковой резки. Стабильная температура – это важный фактор процесса резки, улучшающий как точность обработки, так и качество получаемой продукции.
Установка помогает избавиться от адгезии частиц и последующего повреждения иструмента обработки пластин, вызываемого возникающими в охлаждающей воде электростатическими эффектами.
Установка УФ-экспонирования модели 955 служит для снижения адгезии всех Уф-чувствительных пленок и позволяет полностью контролировать техпроцесс.
Установка для монтажа полупроводниковых пластин на пленочный носитель ADT модели 966 позволяет устанавливать полупроводниковые пластины на рамки, используя различные типы пленок. Станция поставляется в 6"/8" и 8"/12" конфигурациях.
Особенности системы 967 – это обеспечение быстрого, аккуратного и бездефектного монтажа с отсутствием рисков появления любых неоднородностей, характерных для ручного процесса.
Установка оснащена центрифугой с держателем пла-стин и вращающимся манипулятором для подачи очищающей жидкости. Он может оснащаться соплом для распыления и соплом для подачи жидкости под высоким давлением, что обеспечивает комплексное решение для высококачественной отмывки широкого спектра различных типов пластин и подложек.