АОИ

MicroProf^® 100 — компактный, настольный и универсальный инструмент для метрологического контроля поверхности пластины, предназначенный для быстрого и легкого определения толщины пленки, толщины образца и его топографии. MicroProf^® 100 является самой маленькой системой семейства MicroProf^® с несколькими датчиками. MicroProf^®100 также обладает гибкостью для своего применения, как и свои более крупные братья. Система основана на проверенной мультисенсорной технологии FRT, в которой различные оптические методы измерений объединяются в универсальное и компактное устройство.

MicroProf^®200 — это высокопроизводительный, широко и успешно применяемый измерительный прибор для бесконтактного неразрушающего определения параметров поверхности и слоёв всех видов. Базируется на надёжной мультисенсорной технике FRT и предназначен для решения многочисленных измерительных задач в одной системе. С датчиком высокого разрешения CWL можно легко и надёжно измерять топографию, шероховатость и контур. Обширный выбор дополнительных датчиков облегчает оптимальное и индивидуальное приспособление MicroProf^® 200 к вашим задачам. С модулем двустороннего контроля образцов (TTV) или модулем автоматической обработки образцов (MHU) всегда можно приспособить MicroProf^® 200 к новым измерительным задачам клиента. Одновременно будут удовлетворены наивысшие требования к автоматизации.

MicroProf^®300 — является частью высокопроизводительного и универсального семейства установок метрологического контроля нового поколения MicroProf^®, которое используется для обеспечения качества разработок и на производстве. MicroProf^® 300 позволяет определить наименьшие отклонения от идеальной формы поверхности бесконтактным способом и без разрушения образца, при том, что точность измерения поверхности должна быть вплоть до суб-мкм диапазона. Помимо шероховатости поверхности образца, его форма является одним из наиболее важных параметров. Узкие допуски должны быть точно определены. MicroProf^® 300 идеально подходит для этих требований и также может быть интегрирован в полностью автоматизированное производство. Широкий диапазон датчиков и опция проведения двухсторонних выборочных проверок (TTV) позволяют оптимально и индивидуально адаптировать MicroProf^® 300 в соответствии с поставленными измерительными задачами и в любое время. Кроме того, простая автоматизация измерений повышает производительность и надежность процесса.

Метрологическая система MicroProf^®MHU с модулей загрузки специально разработана для полупроводникового, MEMS, сапфирового и светодиодного производств. Типичным применением является контроль чистых и покрытых пластин или структурированных пластин на различных этапах литографического процесса. Благодаря руке робота с двумя вакуумными держателями система имеет очень высокую производительность до 220 пластин в час. Она способна обрабатывать пластины размером от 2 до 12 дюймов. Работа может проводиться с 4 открытыми кассетами, при этом есть возможность встроить в систему модуль предварительного совмещения и считывателя изображений (OCR). Опция для двухстороннего измерения образца позволяет одновременно измерять верхнюю и нижнюю поверхности с определением толщины образца. Проводить изменения общей толщины и различных параметров поверхности, таких как шероховатость, волнистость и плоскостность обеих сторон. Полное измерение формы пластины также возможно при анализе глобальных и локальных параметров пластины. Доступна функция сортировки пластин, которая регулируется в соответствии с требованиями заказчика. На основе мультисенсорной концепции система может быть модернизирована позднее. Другой областью применения MicroProf^® MHU является определение толщины слоя тонких пленок, а также многослойных структур, измерение ступенчатых высот, выпуклостей, переходных отверстий (TSV), канавок и т.д. Благодаря полностью совместимому с SEMI дизайну система практически не требует технического обслуживания при высокой производительности. MicroProf^® MHU — идеальное решение для использования на производстве.

MicroProf^® TL является последней системой из семейства серии MicroProf^®. Как и любая другая система MicroProf^®, «TL» (тепловая нагрузка) является системой для полностью автоматических оптических измерений 3D-поверхностей для различных применений. В отличие от остальных систем серии MicroProf^® функция Thermo Unit (температурный модуль), которая позволяет производить как нагрев, так и охлаждение, а также датчик двумерной деформации microDAC CWM являются полностью встроенными. Таким образом MicroProf^® TL может использоваться для контроля боковых и вертикальных деформаций образцов при тепловой нагрузке. Эту функцию системы можно использовать для определения поведение компонентов в «рабочем состоянии» или для моделирование различных шагов процесса. Измерения для любого процесса со случайными термоциклами могут быть легко настроены путем простого создания рецепта.

MicroProf® FS – это полностью автоматизированная система для контроля пластин, которую можно настраивать для широкого спектра применений на производстве полупроводниковых пластин с использованием как стандартных, так и индивидуальных решений. Благодаря своей огромной универсальности MicroProf® FS становится настоящим «мастером на все руки» на любом современном производстве.

MicroProf^® FE — система автоматической инспекции для участка Frond-End. Система объединяет возможности всемирно известной MicroProf^® 300 с системой обработки полупроводниковых пластин в рамках модуля Front-End (EFEM). С его SEMI-совместимыми метрологическими решениями и высокопроизводительным аппаратным обеспечением MicroProf^® FE является превосходной «рабочей лошадкой» на каждом этапе любого массового Front-End производства.

MicroProf^® AP — это полностью автоматизированная система для метрологического контроля пластин c широким спектром применений и для различных этапов процесса 3D-корпусирования, например, для измерения покрытий и структурирования фоторезиста (PR) через переходные отверстия в кремнии (TSV или борозды после вытравливания, р-образные столбиковые выводы и медные контакты), а также для измерения в процессе прореживания, склеивания и укладки. Благодаря высокой гибкости и универсальности, обеспечиваемой модульной мультисенсорной концепцией, он идеально подходит для выполнения широкого спектра измерительных задач в рамках одного метрологического инструмента.