Фильтр
Система метрологического контроля в настольном варианте MicroProf® 100

MicroProf® 100 — компактный, настольный и универсальный инструмент для метрологического контроля поверхности пластины, предназначенный для быстрого и легкого определения толщины пленки, толщины образца и его топографии. MicroProf® 100 является самой маленькой системой семейства MicroProf® с несколькими датчиками. MicroProf®100 также обладает гибкостью для своего применения, как и свои более крупные братья. Система основана на проверенной мультисенсорной технологии FRT, в которой различные оптические методы измерений объединяются в универсальное и компактное устройство.

Характеристики
Система автоматического метрологического контроля MicroProf®200

MicroProf®200 — это высокопроизводительный, широко и успешно применяемый измерительный прибор для бесконтактного неразрушающего определения параметров поверхности и слоёв всех видов. Базируется на надёжной мультисенсорной технике FRT и предназначен для решения многочисленных измерительных задач в одной системе. С датчиком высокого разрешения CWL можно легко и надёжно измерять топографию, шероховатость и контур. Обширный выбор дополнительных датчиков облегчает оптимальное и индивидуальное приспособление MicroProf® 200 к вашим задачам. С модулем двустороннего контроля образцов (TTV) или модулем автоматической обработки образцов (MHU) всегда можно приспособить MicroProf® 200 к новым измерительным задачам клиента. Одновременно будут удовлетворены наивысшие требования к автоматизации.

Характеристики
Система автоматического метрологического контроля MicroProf®300

MicroProf®300 — является частью высокопроизводительного и универсального семейства установок метрологического контроля нового поколения MicroProf®, которое используется для обеспечения качества разработок и на производстве. MicroProf® 300 позволяет определить наименьшие отклонения от идеальной формы поверхности бесконтактным способом и без разрушения образца, при том, что точность измерения поверхности должна быть вплоть до суб-мкм диапазона. Помимо шероховатости поверхности образца, его форма является одним из наиболее важных параметров. Узкие допуски должны быть точно определены. MicroProf® 300 идеально подходит для этих требований и также может быть интегрирован в полностью автоматизированное производство. Широкий диапазон датчиков и опция проведения двухсторонних выборочных проверок (TTV) позволяют оптимально и индивидуально адаптировать MicroProf® 300 в соответствии с поставленными измерительными задачами и в любое время. Кроме того, простая автоматизация измерений повышает производительность и надежность процесса.

Характеристики
Система автоматического метрологического контроля с модулем загрузки MicroProf®MHU

Метрологическая система MicroProf®MHU с модулей загрузки специально разработана для полупроводникового, MEMS, сапфирового и светодиодного производств. Типичным применением является контроль чистых и покрытых пластин или структурированных пластин на различных этапах литографического процесса. Благодаря руке робота с двумя вакуумными держателями система имеет очень высокую производительность до 220 пластин в час. Она способна обрабатывать пластины размером от 2 до 12 дюймов. Работа может проводиться с 4 открытыми кассетами, при этом есть возможность встроить в систему модуль предварительного совмещения и считывателя изображений (OCR). Опция для двухстороннего измерения образца позволяет одновременно измерять верхнюю и нижнюю поверхности с определением толщины образца. Проводить изменения общей толщины и различных параметров поверхности, таких как шероховатость, волнистость и плоскостность обеих сторон. Полное измерение формы пластины также возможно при анализе глобальных и локальных параметров пластины. Доступна функция сортировки пластин, которая регулируется в соответствии с требованиями заказчика. На основе мультисенсорной концепции система может быть модернизирована позднее. Другой областью применения MicroProf® MHU является определение толщины слоя тонких пленок, а также многослойных структур, измерение ступенчатых высот, выпуклостей, переходных отверстий (TSV), канавок и т.д. Благодаря полностью совместимому с SEMI дизайну система практически не требует технического обслуживания при высокой производительности. MicroProf® MHU — идеальное решение для использования на производстве.

Характеристики
Оптическая система метрологического контроля при термических нагрузках MicroProf®TL

MicroProf® TL является последней системой из семейства серии MicroProf®. Как и любая другая система MicroProf®, «TL» (тепловая нагрузка) является системой для полностью автоматических оптических измерений 3D-поверхностей для различных применений. В отличие от остальных систем серии MicroProf® функция Thermo Unit (температурный модуль), которая позволяет производить как нагрев, так и охлаждение, а также датчик двумерной деформации microDAC CWM являются полностью встроенными. Таким образом MicroProf® TL может использоваться для контроля боковых и вертикальных деформаций образцов при тепловой нагрузке. Эту функцию системы можно использовать для определения поведение компонентов в «рабочем состоянии» или для моделирование различных шагов процесса. Измерения для любого процесса со случайными термоциклами могут быть легко настроены путем простого создания рецепта.

Характеристики
Система автоматического метрологического контроля для серийного производства MicroProf® FS

MicroProf® FS – это полностью автоматизированная система для контроля пластин, которую можно настраивать для широкого спектра применений на производстве полупроводниковых пластин с использованием как стандартных, так и индивидуальных решений. Благодаря своей огромной универсальности MicroProf® FS становится настоящим «мастером на все руки» на любом современном производстве.

Характеристики
Система автоматического метрологического контроля для серийного производства MicroProf® FE

MicroProf® FE — система автоматической инспекции для участка Frond-End. Система объединяет возможности всемирно известной MicroProf® 300 с системой обработки полупроводниковых пластин в рамках модуля Front-End (EFEM). С его SEMI-совместимыми метрологическими решениями и высокопроизводительным аппаратным обеспечением MicroProf® FE является превосходной «рабочей лошадкой» на каждом этапе любого массового Front-End производства.

Характеристики
Система автоматического метрологического контроля для серийного производства MicroProf® AP

MicroProf® AP — это полностью автоматизированная система для метрологического контроля пластин c широким спектром применений и для различных этапов процесса 3D-корпусирования, например, для измерения покрытий и структурирования фоторезиста (PR) через переходные отверстия в кремнии (TSV или борозды после вытравливания, р-образные столбиковые выводы и медные контакты), а также для измерения в процессе прореживания, склеивания и укладки. Благодаря высокой гибкости и универсальности, обеспечиваемой модульной мультисенсорной концепцией, он идеально подходит для выполнения широкого спектра измерительных задач в рамках одного метрологического инструмента.

Характеристики