Автор и должность:
Цветников Михаил, Францышин Давид
Рубрика:
Перспективы
Дмитрий Суханов, заместитель технического директора
Технологии
Дмитрий Суханов, главный специалист
Владимир Иванов, ведущий специалист
Производство полупроводниковых подложек
Метрология и инспекция
Ионная имплантация
Бондинг/дебондинг