Фильтр
Установка плазменной обработки Nordson March AP-300

Cистема плазменной обработки AP-300 компании March Plasma Systems предназначена для плазменной обработки материалов и изделий в серийном производстве при сохранении высокого качества техпроцесса, повторяемости, безопасности, простоты эксплуатации и низкой стоимости.

Характеристики
Установка плазменной обработки Nordson March FlexTRAK-CD

Система FlexTRACKТМ CD обеспечивает отличное качество плазменной обработки и высокую производительность при малых габаритах. Система спроектирована для высокопроизводительной обработки рамок с выводами, многослойных подложек и других подобных компонентов с производительностью до 5 рамок за цикл.

Характеристики
Установка плазменной обработки Nordson March FlexTRACK ™

Система FlexTRACKТМ обеспечивает превосходное качество плазменной обработки и высочайший уровень автоматизации в одной системе. Система предназначена для плазменной обработки широкого спектра изделий микроэлектроники. Запатентованная конструкция плазменной камеры предоставляет исключительную однородность и повторяемость процесса. Симметричная по трем осям геометрия камеры обеспечивает однородность обработки всех образцов, а строгий контроль всех параметров процесса — повторяемость результатов.

Характеристики
Установка плазменной обработки Nordson March AP-600

AP-600 используется для широкого ряда применений (очистка, активация, адгезия) в области микроэлектроники, производстве полупроводников, корпусировании и сборке, а также производителями медицинского оборудования.

Характеристики
Установка плазменной обработки Nordson March AP-1000

Система AP-1000 с опцией HTP («high throughput» — «высокая производительность») оснащается полками-держателями специальной конструкции, которая позволяет оптимизировать процесс ионизации, увеличить однородность обработки и одновременно уменьшить среднее время рабочего цикла. Щелевые магазины размещаются внутри рабочей камеры вертикально. Каждый магазин в стандартной конфигурации может вмещать минимум 20 рамок для электронных компонентов. Внутри рабочей камеры могут одновременно располагаться до 12 магазинов. В системе AP-1000 HTP возможно выбирать ряд технологических газов, таких как аргон, водород и гелий. Система оснащена стандартным оборудованием с четырьмя контроллерами массового расхода газа для его оптимального контроля.

Характеристики
Установка плазменной обработки Nordson March AP-1500

Система AP-1500 предназначена для получения наилучшего качества плазменной обработки в классе систем с большим объемом камеры. 

Характеристики
Установка плазменной обработки Nordson March FlexTrakTM-S

Система FlexTRACKТМ-S специально разработана для обработки подложек больших размеров и удовлетворяет требованиям по плазменной обработке для передовых процессов упаковки полупроводниковой и электронной продукции. Система обеспечивает равномерную и эффективную плазменную обработку и предназначена для широкого спектра применений. Более мощный высокочастотный генератор и улучшенная проводимость вакуумной системы позволяют сопоставить FlexTRACKТМ-S с меньшей системой FlexTRAKТМ. Архитектура рабочей камеры остается прежней, но удлиненной для размещения большего количества подложек. Результатом является плавный переход между различными плазменными камерами, если в производстве требуется большая вместительность.

Характеристики
Установка плазменной обработки Nordson March FlexTrakTM-2MB

Система FlexTRACKТМ-2M предназначена для проведения межпроцессных операций при производстве микроэлектронных устройств, установленных в лодочные кассеты, лотки или в другие типы носителей, и обеспечивает высокую производительность. Запатентованная конструкция плазменной камеры предоставляет исключительную однородность и повторяемость процесса. Симметричная по трем осям геометрия камеры обеспечивает контроль над всеми параметрами процесса и высокую повторяемость результатов.

Характеристики
Установка плазменной обработки Nordson March FlexTrakTM CDS

Система FlexTRACKТМ CDS обеспечивает отличное качество плазменной обработки и высокую производительность при малых габаритах. Система основана на запатентованной технологии плазменной обработки Nordson MARCH и является лишь одной из многих плазменных систем, оснащенных камерой большой емкости, которая обеспечивает высокую однородность и повторяемость процесса. Система FlexTRACKТМ CDS позволяет равномерно обрабатывать все участки подложки.

Характеристики