Фильтр
Solstice LT является полуавтоматической системой электрохимического осаждения. Является младшей моделью в линейке оборудования, обеспечивает автоматическую обработку до 2 пластин одновременно при ручной загрузке и выгрузке.
Solstice S4 является автоматической системой электрохимического осаждения среднего уровня, обеспечивает полностью автоматическую обработку до 4 пластин одновременно, включая отмывку и сушку. Благодаря независимой настройке каждой камеры возможно создать цикл обработки из нескольких последовательных процессов на одном оборудовании.
Solstice S8 является автоматической системой электрохимического осаждения. Являясь старшей моделью в линейке оборудования, обеспечивает полностью автоматическую обработку до 8 пластин одновременно, включая отмывку и сушку. Благодаря независимой настройке каждой камеры возможно создать цикл обработки из нескольких последовательных процессов на одном оборудовании.