Фильтр
Системы очистки технологической тары AP&S CleanStep CB

Установка CleanStep Carrier Box объединяет несколько технологических операций в одном устройстве.

Система позволяет оптимизировать время выполнения технологических операций для быстрой и эффективной чистки и сушки всех существующих типов носителей, контейнеров для полупроводниковых пластин SMIF-Pod, FOUP и других типов.

Характеристики
Системы очистки технологической тары AP&S CleanStep Parts

Установка CleanStep Parts предназначена для травления и чистки кассет, применяющихся в процессах ХОГФУП (PECVD) и диффузии (графитовых кассет, кварцевых компонентов и карбидокремниевых кассет).


Характеристики