Термические процессы

Отличительными особенностями систем являются низкое энергопотребление вследствие оптимальной изоляции, экономия рабочих газов благодаря патентованной системой подачи, специальная система быстрой очистки, сокращающая время обслуживания, а также высочайшее качество при максимальной производительности.

Установка быстрой термической обработки RTP 150 удовлетворяет высочайшим требованиям научно-исследовательских организаций и нуждам предприятий с крупносерийным производством. Идеальна для работы с кремниевыми компонентами и полупроводниковыми соединениями.

Серия систем вакуумной пайки VLO 180/300 оснащены встроенными нагревательными и охладительными пластинами. Эти машины идеальны для крупносерийного производства, требующего как флюсовой, так и безфлюсовой и обработки с минимальным количеством дефектов. Оборудование серии VLO удобно в эксплуатации, обеспечивает простое управление профилями пайки, а также позволяет вести подробнейшую документацию процесса, обеспечивая передачу данных посредством интерфейса с ПК.

Новый продукт серии VLO основан на хорошо зарекомендовавшей технологии модульной сборки (modular VLO-assembly), обеспечивающей наивысшую гибкость системы. Данная технология позволяет использовать различные технологические газы для разнообразных применений.

Установка для проведения процессов быстрой температурной обработки полупроводниковых пластин в инертной среде

Установка предназначена для высокотемпературной обработки образцов в управляемой газовой среде, вакууме, кислороде или другой нетоксичной атмосфере

SA2200 – независимая вакуумная печь отжига от компании Miyachi Unitek обеспечивает идеальное решение для отжига в не зависимости от атмосферной камеры.

Контактно-тепловая сварка и системы сварки методом горячего прижима – newhorizon.

Система newhorizon Hot Bar является неотъемлемой частью серии Hot Bar от Miyachi EAPRO. 

Высокотемпературная печь для оксидирования Oxidator 150 компании Centrotherm, была специально разработана для оксидирования карбида кремния, но также применяется для оксидирования кремния.

Система Centrotherm E-1200 – это гибкая универсальная система высокотемпературной обработки, отвечающая требованиям многономенклатурного мелкосерийного производства. Centrotherm E-1200 отличается высочайшей надежностью, маленькой занимаемой площадью, высокой гибкостью и универсальностью.