Фильтр
HTFS-4-ATM – горизонтальная трубная печь для широкого круга термических процессов при атмосферном давлении. Подходит для малосерийного и среднесерийного производства полупроводниковых изделий.
HTFX-4-ATM – горизонтальная трубная печь для широкого круга термических процессов при атмосферном давлении. Подходит для среднесерийного и крупносерийного производства полупроводниковых изделий.
VTFS-2-ATM – вертикальная трубная печь, оснащенная роботом для загрузки пластин из кассет. Позволяет проводить широкий круг термических процессов при атмосферном давлении. Разработана для крупносерийного производства.
VTFX-2-ATM — вертикальная трубная печь, оснащенная роботом для загрузки пластин из кассет. Позволяет проводить широкий круг термических процессов при атмосферном давлении. Обладает повышенной производительностью и малой занимаемой площадью. Разработана для крупносерийного производства.
HTVTF-200 – высокотемпературная вертикальная трубная печь для термической обработки пластин из SiC. В зависимости от конфигурации позволяет проводить процессы отжига и оксидирования, в том числе в вакууме. Оснащена роботом для загрузки пластин из кассет. Разработана для крупносерийного производства.