Инфраструктура чистых комнат
|
|
|
Коммуникации подвода охлаждающей жидкости,
чистого сухого воздуха,
|
Газовые соединения,
система очистки
газовых выбросов,
газоочиститель
|
Патрубок вытяжки
|
|
|
Управление температурой и влажностью
в чистых комнатах с высокими
требованиями по точности поддержания
|
Вакуумные системы
|
Система обеспечения климата позволяет точно контролировать заданную температуру воздуха и предназначена для использования в чистых комнатах и локальных зонах. Система управления давлением поддерживает заданное давление.
Система обеспечения климата представляет собой решение под ключ с интегральной электронной системой управления. Включает в себя пять систем:
- систему охлаждения;
- вентилятор;
- электронный блок управления;
- систему предварительной очистки;
- заслонку с приводом;
- шумоглушитель.
В качестве дополнительной опции: увлажнение и осушение.
|
|
|
Увлажнитель.
Образует водяной пар, который
увлажняет воздух до требуемой
относительной влажности
|
Блок электрики системы
|
Осушение / Охлаждение.
Центробежный вентилятор
с прямым приводом и
|

Технические характеристики
AH3000
|
AH7000
|
AH14000
|
Длина L [м]
|
0,8
|
1,2
|
2,4
|
Ширина B[м]
|
0,8
|
1,0
|
1,0
|
Высота H[м]
|
2,0
|
2,0
|
2,0
|
Объем воздушного потока [м3/ч]
|
3000
|
7000
|
14000
|
Скорость рециркуляции воздуха [м3/ч]
|
Настраиваемая
|
Настраиваемая
|
Настраиваемая
|
Скорость приточного воздуха [м3/ч]
|
Настраиваемая
|
Настраиваемая
|
Настраиваемая
|
Мощность охлаждения [кВт]
|
8
|
16
|
32
|
Управление температурой
|
От 20°C до 25°C ±1,0°C (произвольно ±0,2°C)
|
Управление давлением в чистых комнатах
|
Максимум 10 Па ±2 Па
|
Влажность воздуха
|
Опциональная система поддержания влажности с осушителем и увлажнителем
|
Диапазон поддержания влажности
|
От 35% до 50% ±5% относительной влажности (зависит от датчиков)
|
Блок управления уровнем влажности HC-серии
Этот тип устройства предназначен для поддержания заданной температуры и влажности в условиях низкого уровня влажности без использования дополнительного охлаждающего оборудования. Увлажнитель управляется оборудованием для термоосушения и установкой подачи охлажденной воды или более выгодным блоком рефрижератора.
|
|
Технические данные
HC270
|
HC690
|
HC1350
|
Скорость рабочего воздуха [м3/ч]
|
270
|
690
|
1350
|
Мощность вентилятора [кВт]
|
0,36
|
0,55
|
1,1
|
Скорость регенерации воздуха [м3/ч]
|
67
|
254
|
490
|
Норма осушения при температуре 20°С и 60% относительной влажности
|
1,5 л/ч
|
3,45 л/ч
|
65 л/ч
|
Обязательные внешние условия
Температура
|
От 15°C до 35°C
|
Относительная влажность
|
От 20% до 40% ±0,5%
|
Установка подачи охлажденной воды
|
14°C ±5°C
|
Спецификация функций управления
Управление влажностью
|
40% ±5% относительной влажности
|
Проектирование чистых помещений
Компания SIT предлагает современное производство чистых помещений «под ключ», соответствующих высоким технологиям, с новейшими системами фильтрации, контроля и управления. Принцип построения чистых помещений позволяет использовать их для фармацевтической и полупроводниковой промышленностей. Система полностью автономна и снабжена ограждающими элементами – стенами, дверьми и окнами согласно требованиям заказчиков.
|
|
Требования стандартов сGMP, FDA, PIC для фармацевтической и медицинской промышленностей
|
Требования стандарта ISO 14644
для микроэлектронной промышленности
|
Фальшпол
|
Гигиеничное и антистатическое покрытие со специальными переходами от стен к полу
|
Свободный доступ к системе при помощи перфорированных панелей с электропроводимым покрытием. Такой фальшпол предусматривает наличие подпольного пространства, в котором размещаются все коммуникации и каналы рециркуляции воздуха
|

|

|
Устройство стен
|
Ровные конструкции из панелей, выполненных из листов нержавеющей стали или алюминия с наполнителем. В панели могут быть встроены окна триплекс
|
Алюминиевый стеновой каркас АS46 с многослойными или сэндвич панелями. Панели могут быть перемещены на другое место без снятия каркаса
|

|

|
Устройство потолка
|
Потолочная система АS46 со встроенными HEPA-фильтрами и светильниками
|
Потолочная система АS46 с встроенными HEPA-фильтрами и прикрепленными светильниками
|
Стальные конструкции чистых комнат
Мобильные чистые комнаты могут быть выполнены в разных размерах.
Несущий стальной каркас оснащен крюком для крана и навесными панелями, облегчающими транспортировку и размещение. Каркас обеспечивает исключительно высокий стандарт жесткости и устойчивости к внешним воздействиям во время транспортировки и предотвращает повреждения встроенного оборудования.
Выгрузка модульного каркаса гидравлическими домкратами
|
|
Гидравлические домкраты для перемещения модуля
|
|
Большие чистые комнаты можно создавать объединением нескольких стандартных модулей.
Загрузка модуля при помощи крана
|
|
V3-2500 D = 2,6 м (высота помещения)
|
Стандартная стальная структура
|
V3-3000 D = 2,6 m (высота помещения)
|
Длина [м]
|
Ширина [м]
|
Высота [м]
|
Длина [м]
|
Ширина [м]
|
Высота [м]
|
3,0
|
2,5
|
3,0
|
3,0
|
3,0
|
3,2
|
6,0
|
2,5
|
3,0
|
6,0
|
3,0
|
3,2
|
12,0
|
2,5
|
3,0
|
9,0
|
3,0
|
3,2
|
12,0
|
3,0
|
3,2
|
Чистые комнаты и чистые зоны от компании SIT
Для полупроводникового, фармацевтического или медицинского применений, относящихся к стандарту ISO 14644 или стандарту GMP.
Мобильные чистые комнаты
|
|
|
Стандартные чистые комнаты
|
|
|
Локальные чистые зоны
|
|
|
Ламинарный поток (потолочная подвеска)
|
|
|
Ламинарные боксы
|
|
|
Инфраструктура разрабатывается в соответствии с требованиями заказчика.
Спецификация чистых помещений. Требования стандартов cGMP, FDA, PIC для фармакологической и медицинской промышленностей
Класс чистоты
|
Концентрация частиц
|
Кратность воздухообмена
|
Избыточное давление
|
cGMP, PIC
|
ISO 14644-1
|
0,3 м
|
0,5 м
|
[1/ч]
|
[Па]
|
A, B
|
~5
|
10’200
|
3’520
|
2.)
|
15
|
C
|
~7
|
352’000
|
20
|
15
|
D
|
~8
|
3’520’000
|
20
|
15
|
Требования стандарта ISO 14644 для микроэлектроники
Класс чистоты
|
Концентрация частиц
|
Кратность воздухообмена
|
Избыточное давление
|
ISO 14644
|
FED STD 209 e
|
0,3 м
|
0,5 м
|
[1/ч]
|
[Па]
|
2
|
10
|
4
|
1.)
|
3
|
~1
|
102
|
35
|
1.)
|
4
|
~10
|
1’020
|
352
|
2.
|
15
|
5
|
~100
|
10’200
|
3’520
|
2.
|
15
|
6
|
~1’000
|
102’000
|
35’200
|
1.80
|
15
|
7
|
~10’000
|
--
|
352’000
|
40
|
10-15
|
8
|
~100’000
|
--
|
3’520’000
|
120
|
10-15
|
2)Скорость ламинарного потока 0,3-0,5 м/сек.