Диффузионные процессы (Diffusion Furnace)

Centrotherm c.HORICOO 200 – это проверенная в эксплуатации трубная печь с большими возможностями настройки для средних и больших объёмов производства, а также для проведения исследований.

Печь Centrotherm c.HORICOO 300 спроектирована для крупносерийной обработки пластин и является первой в мире высокопроизводительной платформой для обработки 300 мм пластин. Система построена на основе опыта Centrotherm в термических процессах и обладает надёжной горизонтальной системой загрузки в камеру.

Centrotherm c.VERTICOO — система для обработки пластин в вертикальной камере, спроектирована для обеспечения больших объёмов производства с сохранением гибкости в настройке. Печь подходит для проведения всех стандартных CVD-процессов в условиях атмосферного или низкого давления с температурой до 1100 °C.

Centrotherm c.VERTICOO Mini – автономная система обработки пластин, предназначена для использования в R&D и опытном производстве. Система подходит для проведения всех стандартных CVD-процессов в условиях атмосферного или низкого давления с температурой до 1100 °C и загрузкой до 50 пластин.

Горизонтальная камерная печь HF-100 предназначена для выполнения операций осаждения различных материалов. Печь имеет небольшой размер и производительность, ориентирована на опытное и мелкосерийное производство.

Горизонтальная камерная печь HF-100 предназначена для выполнения операций осаждения различных материалов. Печь имеет небольшой размер и производительность, ориентирована на опытное и мелкосерийное производство.