Фильтр
Автоматические системы совмещения пластин EVG SmartView® и EVG SmartView®NT

EVG SmartView® и EVG SmartView®NT — автоматические системы совмещения пластин, которые позволяют работать с подложками различных размеров, начиная от 50 мм и до 300 мм.

Запросить
Характеристики
Модульная автоматизированная система совмещения пластин EVG MBA (Modular Bond Alignment System)

С изобретением первой в мире двухсторонней системы совмещения в 1985 году EVG произвела революцию в технологии MEMS и установила мировые отраслевые стандарты в совмещении пластин и их последующей сварке, разделив процесс выравнивания и сварки. Это разделение приводит к большей гибкости и универсальному применению оборудования для сварки пластин.

Запросить
Характеристики
Автоматизированная система совмещения и экспонирования фотошаблона с пластиной EVG®IQ Aligner®NT

IQ Aligner®NT сочетает в себе современные разработки в оптике и механике, обеспечивающие высокоинтенсивное экспонирование, точное совмещение до 250 нм, точное регулирование зазора экспозиции, а также быстрый процесс обработки пластин с производительностью до 200 пластин в час. IQ Aligner®NT поставляется с расширенными возможностями для самых точных и гибких схем совмещения, таких как микроскоп с покрытием целой 300 мм пластины. Конструкция позволяет осуществлять глобальное многоточечное совмещение и точную установку позитивного фотошаблона. Оптимизированное программное обеспечение процессов и удобство работы оператора дополняют хорошо спроектированную концепцию.

Запросить
Характеристики
Автоматизированная система совмещения и экспонирования фотошаблона с пластиной / система совмещения пластин EVG®6200∞

Новые технологии EVG, используемые при разработке систем совмещения, создают и устанавливают новые промышленные стандарты в двусторонней литографии и сварки пластин с совмещением. EVG остается лидером в данных областях благодаря непрерывной разработке новых поколений систем совмещения для внедрения передовых технологий литографии. Способные работать с пластинами и подложками размером до 300 мм, различной формы и толщины, системы совмещения EVG предназначены для производства МЭМС, создания столбиков припоя (бампов), высокоинтегрированных систем, а также полупроводниковых соединений, силовой электроники, светодиодов и фотовольтаики. Автоматизированные системы совмещения оптимизированы для обеспечения высокой производительности, длительной наработки на отказ и высокой стабильности.

Запросить
Характеристики
Автоматизированная установка нанесения и проявления фоторезиста EVG®150

EVG®150 — автоматизированная система нанесения и проявления фоторезиста предназначена для широкого спектра процессов при работе с фоторезистами и позволяет обрабатывать различные виды подложек до 300 мм.

Запросить
Характеристики
Установка нанесения и проявления фоторезиста для большой площади поверхности EVG®101LA

EVG®101LA — установка нанесения и проявления фоторезиста, предназначенная для обработки панелей большой площади.

Запросить
Характеристики
Автоматизированная литографическая трековая система EVG HERCULES®

Платформа HERCULES® объединяет весь процесс литографического процесса в одном оборудовании. Система построена на модульной платформе и объединяет разработанную EVG технологию оптического совмещения фотошаблона с пластиной с интегрированными модулями по очистке, нанесению и проявлению фоторезиста. Это превращает HERCULES® в «единый центр», где в оборудование загружаются пластины, а выгружаются уже полностью структурированные изделия.

Запросить
Характеристики
Установка нанесения и проявления фоторезиста серии EVG®101

EVG®101 — современная установка нанесения и проявления фоторезиста, предназначенная для обработки одной пластины в условиях мелкосерийного производства и научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ, которая полностью совместима со всеми автоматизированными системами EVG.

Запросить
Характеристики
Модуль сушки и задубливания фоторезиста EVG® 105

EVG®105 — модуль сушки и задубливания фоторезиста, позволяющий реализовать следующие процессы: мягкая сушка, жесткая сушка и постэкспозиционная сушка.

Запросить
Характеристики