Система плазменного осаждения PD-1000 Plasma Deposition System

Увеличенная производительность, удовлетворяющая требованиям по большому объему загрузки

Система PD-1000 объединяет в себе надежность и качество процесса системы AP-1000 и преимущества Nordson March в промышленных разработках. Система оптимизирует использование реактивных ионов ВЧ-плазмы, что позволяет увеличить однородность осаждения и сократить время цикла обработки.

Система PD-1000 позволяет использовать широкий диапазон рабочих газов, таких как аргон, водород и гелий. Оборудована двумя контроллерами массового расхода газа для оптимального процесса контроля газа. Кроме того, различные жидкие прекурсоры могут подвергаться нагреву и испарению в процессе осаждения.

Особенности и преимущества

• ВЧ-генератор с частотой 13,56 МГц имеет автоматическое согласование нагрузки, что позволяет получить пленочные покрытия высокого качества.
  
• ВЧ-генератор может работать в импульсном режиме, что улучшает качество и свойства наносимых пленок.
  
• Для создания покрытий используются газы или испарение нагретого жидкого мономера.
  
• Изменяемая конструкция полок позволяет обрабатывать различные типы деталей.
  
• Программное обеспечение собственной разработки позволяет накапливать статистические данные производственного процесса.
  
• Программируемый контроллер с управлением при помощи сенсорного экрана и интуитивного графического интерфейса позволяет отображать данные процесса в режиме реального времени.
  
• Опционально возможно осаждение просветляющих покрытий.
  

Превосходное качество нанесения покрытий при плазменном процессе удовлетворяет самым высоким производственным требованиям по неравномерности толщины покрытия.

Система PD-1000 от Nordson March соответствует строгим требованиям 24 часовой работы на производствах с высокой производительностью. Система обеспечивает равномерное осаждение в плазме с непревзойденной надежностью, безопасностью и простотой эксплуатации. Она полностью автономна и требует минимальной занимаемой площади. Насос, рабочая камера, электроника контроля и ВЧ-генератор с частотой 13,56 МГц размещаются в одном корпусе. Система доставки газов встроена в основную систему, что облегчает доступ, обслуживание и контроль. Дверь, расположенная на передней части корпуса, позволяет получить полный доступ ко всем внутренним компонентам системы. Насос на роликах обеспечивает его простую замену. Плазменная камера изготовлена из нержавеющей стали с алюминиевыми защелками и 11 датчиками для увеличения долговечности. Камера оснащена несколькими съемными и регулируемыми полками для обработки широкого диапазона образцов.