Система плазменного осаждения PD-1500 Plasma Deposition System

Эффективное плазменное осаждение в камере сверхбольших размеров для групповой обработки

Система PD-1500 от Nordson March с большой камерой специально разработана для обеспечения лучшей в классе плазменной групповой обработки. Ежедневные расходы на проведение процессов, такие как расход процессных газов и энергопотребление, минимизированы благодаря уникальной дизайнерской концепции. Система обеспечивает равномерное плазменной осаждение с непревзойденными надежностью, безопасностью и простотой эксплуатации.

PD-1500 — компактная и эффективная с точки зрения затрат система для проведения процессов плазменного осаждения на широкий спектр изделий. Система полностью автономна и требует минимальной занимаемой производственной площади. Система откачки, рабочая камера, электроника управления и ВЧ-генератор размещены внутри одного корпуса. Система доставки рабочих газов встроена в основную систему для простоты доступа, обслуживания и контроля. Удобное расположение дверей спереди и сзади обеспечивают доступ ко всем внутренним компонентам, насос откачной системы расположен на роликах, что облегчает его замену.

Особенности и преимущества

• Импульсный ВЧ-генератор с рабочей частотой 40 кГц для улучшения свойств осаждаемых в плазме пленок.
  
• Для осаждения покрытий используются газы или испарения подогретого жидкого мономера.
  
• Подтвержденная быстрота и эффективность плазменного осаждения.
  
• Запатентованная конструкция, максимально увеличивающая производительность.
  
• Компактность системы позволяет минимизировать занимаемую площадь.
  
• Простота работы и загрузки данных.
  
• Простота загрузки и разгрузки камеры.
  
• Низкая стоимость проведения процесса и владения.
  
• Опционально возможно осаждение просветляющих покрытий.
  

Осаждение при помощи плазменной полимеризации

Система PD-1500 разработана для проведения процесса плазменной полимеризации (плазменного осаждения из газовой фазы). Горизонтальная конструкция электродов (полок) позволяет проводить групповую обработку большой партии изделий. Система разработана для достижения максимальной эффективности плазменного осаждения благодаря системе автоматического согласования ВЧ-генератора и алгоритмам системы управления. Интуитивно понятный интерфейс и панель управления с сенсорным экраном позволяют управлять процессом плазменной обработки в режиме реального времени. Систему управления можно защитить паролем для нескольких уровней доступа для предотвращения несанкционированного изменения рецептов, что обеспечивает повторяемость процесса от первой партии к последней. PD-1500 оснащена выдвижными полками для простоты загрузки и разгрузки. Компактность и простота обслуживания (доступ спереди и сзади) сочетаются с компактным дизайном, поэтому несколько систем могут быть расположены близко друг к другу, что уменьшает площадь производственных помещений.