Отсеки и печи
|
Конфигурация
|
Загрузка с торца, спереди, сзади
|
Нагрев
|
Нагреваемые стенки или полки
|
Температура
|
0 — 200 оС (стандартно), выше — по запросу
|
Вакуумные насосы
|
Пластинчато-роторный, криогенный, турбомолекулярный
|
Управление и мониторинг
|
Диапазон детектирования кислорода
|
0 — 1000 PPM или в %
|
Диапазон детектирования влажности
|
0 — 150 PPM или точка росы оС
|
Детектирование гелия
|
%
|
Детектирование аргона
|
%
|
Требования к помещению
|
Электропитание
|
5-проводное, 208 В переменного тока, 3 фазы, 30 А, 50/60 Гц или 5-проводное, 380 — 415 В переменного тока, 3 фазы, 30 А, 50/60 Гц
|
Рабочий газ
|
414 кПа
|
Сжатый газ для автоматических дверей
|
550 кПа
|
Охлажденная вода
|
Необходима для охлаждения фланца печи (не требуется при наличии опционального рециркулятора)
|
Очистка газа
|
Одинарная газовая стойка
|
51 м3/час
Система удаления кислорода и понижения влажности
|
Двойная газовая стойка
|
Автоматическая двойная газовая стойка
|
Газовые смесители
|
Ручные
|
Для двух или трех газов
|
Автоматические с обратной связью
|
Для двух газов
|
Другое
|
Система удаления сажи
|
51 м3/час или 170 м3/час
|
Замена оснастки
|
Доступ с нижней стороны, загрузка спереди
|
Безопасность
|
Защитные шторки от света, безопасное для глаз смотровое окно, световой индикатор состояния, блокировки
|