Cистема для осаждения многокомпонентных покрытий в вакууме методами магнетронного и резистивного испарения STE MS900

Система позволяет проводить процессы напыления многокомпонентных покрытий (металлов, резистивных слоев и др.) при температуре на подложке до 500 °С. Установка предназначена как для проведения активных исследований, так и для решения производственных задач.

Максимальное количество напыляемых пластин в одном процессе: ∅150мм – 6 шт., до 34 пластин 60×48 мм. Мишени диаметром 6’’ обеспечивают однородность ±2% на диаметре напыления 100 мм, а магнитное крепление позволяет легко их заменять

Особенности конструкции:

• реактор цилиндрической формы с водяным охлаждением стенок и фланцев с подъемной верхней частью 
• 5 портов для установки магнетронных испарителей с мишенями до 6” (∅150 мм) и 1 порт для источника ионов 
• держатель образцов карусельного типа с возможностью установки образцов различной формы 
• 2 магнетронных источника с диаметром мишени до 150 мм с индивидуальными заслонками, два источника питания (DC и RF) с автоматической перекоммутацией между магнетронными источниками в базовом исполнении, с возможностью установки большего количества магнетронов по желанию Заказчика 
• ионный источник, с энергией ионов 20÷300 эВ, для реализации процесса ионной очистки подложек перед напылением с системой защитных экранов 
• три газовых линии с автоматическими регуляторами расхода газа включая одну линию с байпасом в коррозионно стойком исполнении 
• процессные газы: Ar, H2, O2, N2 
• возможность установки образца свидетеля для измерения сопротивления 
• система позиционирования подложки относительно заданного источника напыления

Основные преимущества:

• использование в качестве многофункциональной установки вакуумного осаждения с различными источниками для проведения как исследовательских, так и производственных процессов
• автоматизированное управление технологическим процессом: 
• по показаниям толщиномеров, измерителей сопротивления образца и т.д. 
• с автоматической блокировкой установки по параметрам входящих энергоносителей (пневматика, вода, чистые газы)