ООО «Остек-ЭТК»
Молодогвардейская ул., д. 7, стр. 4, Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru, etc@ostec-group.ru
ИНН 7731481052, КПП 773101001, ОГРН 5147746189058,
ОКПО 17183453

Забыли пароль?

E-mail
Для восстановления пароля введите E-mail, указанный при регистрации.
На ваш E-mail будет выслано письмо с дальнейшими инструкциями.
EN  RU
Группа Остек
Сайт производителя:
Новинка
Добавить в лист запросов
Используемые технологии
Распечатать Сохранить PDF
Технические характеристики

Максимальные размеры изделий

GS-4 XT: До 4” (100 мм)

GS-6 XT: До 6” (150 мм)

GS-8 XT: До 8” (200 мм)

Высота 33 мм

Размеры системы, Ш х Г х В

820 мм х 640 мм х 310 мм

Вес системы

68 кг

Режимы нанесения

Статический и динамический (с потоком)

Система управления

ПО GEMFlow™ на базе Windows с удобным пользовательским интерфейсом

Импорт/экспорт параметров процесса (рецептов) в виде файлов Excel

Встроенный модуль управления через USB

Температура подложек

25 – 300 °С с равномерностью поддержания < ± 1 °С (для пластины 8”)

Равномерность нанесения

< ± 1 % (1σ)в пределах подложки

< ± 2 % (1σ) от партии к партии

Корпус

Съемная верхняя панель

Заднее размещение подключений

Опции

  • Атмосферная камера
  • Нагреваемый до 500 °С держатель подложек
  • Насос
  • Скруббер
  • Генератор озона
  • Комплект для плазменного АСО (для GS-6 XT и GS-8 XT)

Количество прекурсоров

8 стандартных прекурсоров (4 металлоорганических, 4 окислителя/восстановителя), включая 2 нагреваемые емкости (4 опционально)

Дополнительная подача инертного газа

GS-4 XT: 4 стандартных клапана для прекурсоров (2 металлоорганических и 2 окислительных прекурсора)

GS-6 XT & GS-8 XT: 8 стандартных клапанов для прекурсоров (4 металлоорганических и 4 окислительных прекурсора)

Температурный контроль

Нагреваемые до 200 °С линии и 2 нагреваемые емкости (до 4 опционально)

Продувочный газ

1 линия подачи инертного газа для прекурсоров с низким давлением паров

Клапаны

2-ходовые, высокоскоростные, встроенные в линию с откликом 10 мс

Емкости для прекурсоров

Емкости 150 см3 из нержавеющей стали с отсечными клапанами

Сравнительные характеристики систем серии GemStar XT™

GS-4 XT

GS-6 XT

GS-8 XT

GS-8 XT-P

Тип камеры

Термическое АСО

Термическое АСО (опционально плазменное АСО)

Термическое АСО

(опционально плазменное АСО)

Термическое АСО,

плазменное АСО

Манипулятор для 1 пластины

Ø100 мм

Ø150 мм

Ø200 мм

Ø200 мм

Групповое нанесение

5 пластин

5 пластин

5 пластин

5 пластин

Макс. температура

300 °С

300 °С

300 °С

300 °С

С опцией нагреваемого держателя

-

500 °С

500 °С

500 °С

Количество внешних линий подачи газа

1

2

2

2

Количество портов для прекурсоров

4

8

8

8

Максимальная температура линии

200 °С

200 °С

200 °С

200 °С

Количество емкостей 150 см3

0

(опционально 4)

3

(опционально 6)

3

(опционально 6)

6

Количество нагреваемых до 175 °С зон емкостей

0

(опционально 2)

2

(опционально 4)

2

(опционально 4)

2

(опционально 4)

Количество внешних газовых портов с шаровыми клапанами

0

(опционально 1)

2

(опционально до 4)

2

(опционально до 4)

2

(опционально до 4)

Тип фланца вакуумной линии

KF25

(опционально KF50)

KF25

(опционально KF50)

KF25

(опционально KF50)

KF50

Измерительный порт

KF40

KF40

KF40

KF40

Ноутбук с установленным ПО

Доступен опционально

Включен

Включен

Включен

Атмосферная камера

Доступна опционально

Доступна опционально

Доступна опционально

Доступна опционально

Система генерации озона

Доступна опционально

Доступна опционально

Доступна опционально

Доступна опционально

Комплект для плазменного АСО

-

Доступен опционально

Доступен опционально

Доступен опционально

Опция генерации удаленной индуктивно связанной плазмы.