Фильтр
Высокотемпературная печь Activator 150 компании Centrotherm, была разработана для отжига после имплантации карбид- кремниевых (SiC) и нитрид –галлиевых (GaN) пластин. Уникальный дизайн технологического канала и нагревательной системы позволяет достичь температуры технологического процесса до 1850°C.
Высокотемпературная печь для оксидирования Oxidator 150 компании Centrotherm, была специально разработана для оксидирования карбида кремния, но также применяется для оксидирования кремния.
Гибкая и надежная печь с конвейерной лентой c.FLEXCON подходит для всех проектов с использованием толстой плёнки. Система обеспечивает высокую производительность при экономичной и эффективной работе. Чистота и поток газа играют главную роль в качестве продукта. c.FLEXCON имеет газоплотный муфель с великолепным контролем температуры и рабочего газа. Ровный поток воздуха внутри рабочего муфеля обеспечивает оптимальные условия, а также удаление летучих органический соединений.
