Установка серии MiScan представляет собой систему для формирования УФ-лучей для прямого экспонирования или микро-нанолитографии. В системе MiScan установлены различные функциональные оптические системы, которые применяются совместно с технологией пространственно-световой модуляции, поддерживающей формирование микроструктур, а также фазовые модуляторы света с интерференционной технологией для непосредственного написания нано-структур.
В устаревших системах для создания фотошаблонов используется система растрового сканирования.
Эти системы используют сфокусированный лазерный луч для записи микроструктур с минимальными размерами до 0,5 мкм на почти любых материалах резиста. Электронно-лучевая литография является одним из основных методов для создания наноструктур, но при очень низкой скорости письма и высокой стоимости эксплуатации.
Для структур размером всего лишь 0,25 мкм самым последним методом является параллельное разбиение технологии пространственно-световой модуляции и технологии фазовой модуляции света, обеспечивающее очень высокое разрешение, качество изображения и производительность.
Технология пространственно-световой модуляции, применяемая в системе MiScan, является основой новой технологии создания фотошаблонов или прямого экспонирования, которая принципиально отличается от традиционных технологий. Данная технология объединяет производительность лазерного луча с высоким разрешением и электронный луч, создавая мощную систему для создания фотошаблонов или прямого экспонирования, которую можно применять в различных технологиях.
Функциональные особенности
- Высокая скорость письма: 1200 мм2/мин;
- Рабочее поле до 250×250 мм;
- Создание произвольных структур минимальным размером до 0,5 мкм;
- Высота обрабатываемого образца: до 15 мм;
- Срок службы источника излучения: до 10000 ч.
Области применений
- Изготовление прецизионных масок;
- Производство широкоформатных сенсорных панелей;
- Производство гибких плат;
- MEMC, биочипы;
- Микроконтуры для дисплеев и OLED;
- Компоненты для оптики;
- CGH;
- Дифракционные оптические элементы;
- 3D-дисплеи.
Печать/PDF