Ситема прямого лазерного экспонирования SVG MiScan

Установка серии MiScan представляет собой систему для формирования УФ-лучей для прямого экспонирования или микро-нанолитографии. В системе MiScan установлены различные функциональные оптические системы, которые применяются совместно с технологией пространственно-световой модуляции, поддерживающей формирование микроструктур, а также фазовые модуляторы света с интерференционной технологией для непосредственного написания нано-структур.

В устаревших системах для создания фотошаблонов используется система растрового сканирования.
Эти системы используют сфокусированный лазерный луч для записи микроструктур с минимальными размерами до 0,5 мкм на почти любых материалах резиста. Электронно-лучевая литография является одним из основных методов для создания наноструктур, но при очень низкой скорости письма и высокой стоимости эксплуатации.

Для структур размером всего лишь 0,25 мкм самым последним методом является параллельное разбиение технологии пространственно-световой модуляции и технологии фазовой модуляции света, обеспечивающее очень высокое разрешение, качество изображения и производительность.

Технология пространственно-световой модуляции, применяемая в системе MiScan, является основой новой технологии создания фотошаблонов или прямого экспонирования, которая принципиально отличается от традиционных технологий. Данная технология объединяет производительность лазерного луча с высоким разрешением и электронный луч, создавая мощную систему для создания фотошаблонов или прямого экспонирования, которую можно применять в различных технологиях.

Функциональные особенности

• Высокая скорость письма: 1200 мм²/мин;
  
• Рабочее поле до 250×250 мм;
  
• Создание произвольных структур минимальным размером до 0,5 мкм;
  
• Высота обрабатываемого образца: до 15 мм;
  
• Срок службы источника излучения: до 10000 ч.
  

Области применений

• Изготовление прецизионных масок;
  
• Производство широкоформатных сенсорных панелей;
  
• Производство гибких плат;
  
• MEMC, биочипы;
  
• Микроконтуры для дисплеев и OLED;
  
• Компоненты для оптики;
  
• CGH;
  
• Дифракционные оптические элементы;
  
• 3D-дисплеи.