Представленные системы обеспечивают превосходную производительность и ценовое преимущество, которое вы можете ожидать от мировых лидеров в области литографии. Представленные решения обеспечивают превосходные показателя по разрешению и точности совмещения.
Система проекционной литографии Nikon NSR-2205i11D/i11C предназначена для проведения литографического процесса с высоким разрешением.
Система проекционной литографии Nikon NSR-2205i12D/i12C предназначена для проведения литографического процесса с высоким разрешением.
Система проекционной литографии Nikon NSR-220D — KrF Scanner, предназначена для проведения литографического процесса с высоким разрешением и скоростью.
Система проекционной литографии Nikon NSR-S206D — KrF Excimer Scanner, предназначена для проведения литографического процесса с высоким разрешением и скоростью.
Система проекционной литографии Nikon NSR-S307E — ArF Excimer Stepper, предназначена для проведения литографического процесса с высоким разрешением и скоростью.
Система проекционной литографии Nikon NSR-S322F — ArF Scanner, предназначена для проведения литографического процесса с высоким разрешением и скоростью.
Система проекционной литографии Nikon NSR-S620D — ArF Immersion Scanner, предназначена для проведения литографического процесса с высоким разрешением и скоростью.
Система проекционной литографии Nikon NSR-S622D — ArF Immersion Scanner, предназначена для проведения литографического процесса с высоким разрешением и скоростью.