С изобретением первой в мире двухсторонней системы совмещения в 1985 году EVG произвела революцию в технологии MEMS и установила мировые отраслевые стандарты в совмещении пластин и их последующей сварке, разделив процесс выравнивания и сварки. Это разделение приводит к большей гибкости и универсальному применению оборудования для сварки пластин.
Точность систем совмещения EVG обеспечивает наиболее требовательные процессы совмещения в производстве MEMS и в новых областях, таких как приложения 3D-интеграции.
Системы совмещения EVG обеспечивают высочайшую точность, гибкость, простоту использования и модульную модернизацию и имеют высокую квалификацию в многочисленных высокопроизводительных производственных средах.
Уникальные особенности
- Различные типы совмещения (инфракрасное, просвечивающее, по задней стороне, по краю)
- Совмещение центр-к-центру без реперных знаков
- Размер пластины / подложки до 300 мм с различной толщиной и материалом
- Превосходная параллельность верхней и нижней пластин за счет системы клиновой компенсации
- Готовность к прямой сварке кремниевых пластин
- Голова с различными объективами
- Фиксация совмещенных пар для сварки перед загрузкой в камеру сварки
- Бесконтактная передачи пластин
- Возможность инфракрасной подсветки
Система проста в работе благодаря интерфейсу на основе ОС Windows. В ней может быть сохранено неограниченное число процессов, включая значения основных и продвинутых параметров, таких как конфигурация микроскопа и его положение.
MBA предлагает совмещение по задней стороне, совмещение центр к центру и совмещение через просвечивание инфракрасным излучением. Включает в себя высокоточное совмещение с верхним расположением микроскопов.
Огромное разнообразие конфигураций систем совмещения обеспечивает множество преимуществ для различных применений MEMS и IC.
Большое количество различных методов совмещения может поддерживаться при использовании прямых (режим настоящего времени) либо косвенных методов совмещения.
Модуль предназначен для работы в качестве интегрированной части для систем серий EVG®560 или GEMINI®.
Печать/PDF