Решения для производств электронных компонентов Решения для производств электронных компонентов Группа Компаний Остек Группа Компаний Остек Технологические решения для производства радиоэлектронной аппаратуры Технологические решения для производства радиоэлектронной аппаратуры Решения для производств электротехнических компонентов Решения для производств электротехнических компонентов Технологические материалы для производства радиоэлектронной аппаратуры Технологические материалы для производства радиоэлектронной аппаратуры Химико-технологические решения Химико-технологические решения Комплексное оснащение производств и научно-исследовательских предприятий Комплексное оснащение производств и научно-исследовательских предприятий Разработка и производство вакуумного и специализированного технологического оборудования Разработка и производство вакуумного и специализированного технологического оборудования Решения для электрического контроля качества изделий Решения для электрического контроля качества изделий Комплексные проекты создания и развития производственных предприятий Комплексные проекты создания и развития производственных предприятий Решения для организации испытаний и тестирования Решения для организации испытаний и тестирования Цифровая система управления производством Цифровая система управления производством Направление цифровых производственных технологий Направление цифровых производственных технологий Ostec Marketing. Агентство промышленного маркетинга Ostec Marketing. Агентство промышленного маркетинга Ostec Group (English version) Ostec Group (English version)
Заказать звонок +7 495 788-44-44
Меню
ENG
ПОИСК ПО САЙТУ
Каталог товаров Полупроводниковое производство Сборочное производство
АОИ, тестирование и контроль Инженерные решения для ЧПП
Расходные материалы
О компании Демозал Партнеры Клиенты Пресс-центр Статьи и публикации Карьера Политика конфиденциальности Каталог оборудования Решения «под ключ» Производство светодиодов Производство солнечных элементов и модулей Полупроводниковое кристальное производство Производство приборов радиочастотной идентификации RFID Производство микро-электромеханических систем
Услуги и сервис Оборудование Технология Персонал База знаний Статьи и публикации Каталоги и брошюры Технологии Вопросы и ответы Видео Личный кабинет Личные данные Ваше оборудование Заявки на сервис Анкеты Задать вопрос Лист запросов Подписка
Контакты
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39

Система электронно-лучевого испарения в сверхвысоком вакууме ULTECH UEE-UHV Series

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643
ULTECH
Сайт производителя:
ultech.co.kr/
Система электронно-лучевого испарения в сверхвысоком вакууме ULTECH UEE-UHV Series Рабочая камера
Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок
Cохранить в PDF Распечатать

UEE-UHV Series Система электронно-лучевого испарения предназначена для создания тонкоплёночных металлических покрытий в условиях сверхвысокого вакуума.

Применение:

  • многослойное или однослойное нанесение традиционных материалов;
  • покрытие из легированного металла (совместное испарение);
  • оксид кремния;
  • осаждение металлов (Au, Ag, Al, Cr, Cu, Fe, Ni, Sn, Ti и т.д.).

Размер обрабатываемой пластины

1 пластина до 6″

Производительность

зависит от конфигурации

Скорость вращения образца

5 — 12 об/мин

Электронно-лучевая пушка

одиночная/двойная и выдвижного/верхнего типа

Блок питания электронного луча

6 кВт/12 кВт

Электронно-лучевой источник

7 куб. см х 9 гнезд/25 куб. см х 4 гнезда/40 куб. см х 1 гнездо

Контроль осаждения

автоматический контроль толщины пленки

Блок наклона подложки

угол наклона ±60°

Охлаждение подложки

жидкостная азотная ловушка

Предельный вакуум

≤ 5×10 — 9 Торр

Вакуумный насос

крионасос + роторный (опция — безмасляный насос)

Управление процессом

управление ручное или с ПК (опция)



Наши интернет-проекты Заявки на сервисное обслуживание
+7 495 788-44-44
Сервисный центр
8 800 700-39-39
© 2020 ООО «Остек-ЭК»