Полуавтоматичекая установка электрохимического осаждения Classone Technolgy Solstice LT

Solstice LT является полуавтоматической системой электрохимического осаждения. Является младшей моделью в линейке оборудования, обеспечивает автоматическую обработку до 2 пластин одновременно при ручной загрузке и выгрузке.

Функциональные возможности:

• До 2 камер
• Возможность выполнения различных процессов на одной единице оборудования
• Металлизация
• Metal Lift-off/UBM/RDL травление
• Удаление фоторезиста
• Полностью автоматический процесс «из кассеты в кассету»
• Системы фильтрации и слива
• Экономичное, безотходное осаждение золота
• Доступна камера CopperMax™ для сокращения расхода CoO на 95%
• Программируемый источник питания с различными режимами, встроенными кулонметром и датчиком остановки процесса
• Управление посредством ПО на базе Windows

Применение

• MEMS
• Фотоника
• LED
• Силовая электроника
• Электрохимические устройства
• RF-устройства