Solstice LT является полуавтоматической системой электрохимического осаждения. Является младшей моделью в линейке оборудования, обеспечивает автоматическую обработку до 2 пластин одновременно при ручной загрузке и выгрузке.
Функциональные возможности:
До 2 камер
Возможность выполнения различных процессов на одной единице оборудования
Металлизация
Metal Lift-off/UBM/RDL травление
Удаление фоторезиста
Полностью автоматический процесс «из кассеты в кассету»
Системы фильтрации и слива
Экономичное, безотходное осаждение золота
Доступна камера CopperMax™ для сокращения расхода CoO на 95%
Программируемый источник питания с различными режимами, встроенными кулонметром и датчиком остановки процесса
Управление посредством ПО на базе Windows
Применение
MEMS
Фотоника
LED
Силовая электроника
Электрохимические устройства
RF-устройства
Размер обрабатываемой пластины
от 75 до 200 мм
Толщина обрабатываемой пластины
от 0.3 до 3.5 мм
Производительность
25 — 850 пластин/неделя
Регуляция потока электролита
от 1 до 40 л/мин
Рабочая температура
от 15 ºС до 60 ºС
Скорость нанесения
до 4 мкм/мин
Отклонение толщины по пластине
±5%
Отклонение толщины между пластинами
±1%
Запросить в один клик
Заказать звонок
Запрос оборудования на тестирование
?>
Сайт использует файлы cookie, обрабатываемые вашим браузером. Подробнее об этом вы можете узнать в Политике cookie.