Полуавтоматичекая установка электрохимического осаждения Classone Technolgy Solstice LT

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Полуавтоматичекая установка электрохимического осаждения Classone Technolgy Solstice LT

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

Solstice LT является полуавтоматической системой электрохимического осаждения. Является младшей моделью в линейке оборудования, обеспечивает автоматическую обработку до 2 пластин одновременно при ручной загрузке и выгрузке.

Функциональные возможности:

До 2 камер
Возможность выполнения различных процессов на одной единице оборудования

Металлизация
Metal Lift-off/UBM/RDL травление
Удаление фоторезиста

Полностью автоматический процесс «из кассеты в кассету»
Системы фильтрации и слива
Экономичное, безотходное осаждение золота
Доступна камера CopperMax™ для сокращения расхода CoO на 95%
Программируемый источник питания с различными режимами, встроенными кулонметром и датчиком остановки процесса
Управление посредством ПО на базе Windows

Применение

Размер обрабатываемой пластины	от 75 до 200 мм
Толщина обрабатываемой пластины	от 0.3 до 3.5 мм
Производительность	25 — 850 пластин/неделя
Регуляция потока электролита	от 1 до 40 л/мин
Рабочая температура	от 15 ºС до 60 ºС
Скорость нанесения	до 4 мкм/мин
Отклонение толщины по пластине	±5%
Отклонение толщины между пластинами	±1%

Полуавтоматичекая установка электрохимического осаждения Classone Technolgy Solstice LT

Функциональные возможности:

Применение

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование