Система автоматической оптической инспекции пластин

ООО «Остек-ЭК»
Молдавская ул., д. 5, стр. 2, г. Москва, Россия, 121467
Тел.: +7 (495) 788-44-44, факс: +7 (495) 788-44-42,
www.ostec-group.ru, info@ostec-group.ru
ИНН 7731481077, КПП 773101001,
ОГРН 5147746189070, ОКПО 17182643

Система автоматической оптической инспекции пластин

Сравнение результатов контроля годной и дефектной продукции. Годная

Сравнение результатов контроля годной и дефектной продукции. Дефектная

Сравнение результатов контроля годной и дефектной продукции. Изображение дефектов

Пример обнаружения частиц. Измерение 10х

Пример обнаружения частиц. Измерение 20х

Обнаружение дефекта, деформации линии, размером 0,71 мкм при увеличении 10х

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

Система AWIS300 — передовое решение для автоматической оптической инспекции (АОИ) поверхности пластин со структурой для всестороннего контроля качества. Обеспечивает прецизионное обнаружение, измерение, анализ и классификацию дефектов на подложках и эпитаксиальных структурах из широкого спектра материалов, включая GaN, GaAs, InP, SiC, сапфир и кремний.

Применение специальных алгоритмов и системы глубокого обучения для надежной классификации сложных дефектов (остатки резиста, деформации мез, частицы, сколы и др.) даже при наличии технологических вариаций.

Особенности

Многомасштабная система АОИ с возможностью выбора оптического увеличения
Высокая производительность, точность и воспроизводимость измерений, высокая степень обнаружения дефектов
Карта распределения дефектов с разными цветами, соответствующими различным типам дефектов, и статистическая информация
Система машинного обучения для точной классификации дефектов
Функция наложения нескольких слоев, соответствующих нескольким фотошаблонам, что позволяет задавать индивидуальные стандарты дефектов для разных областей рисунка
Функция контроля совмещения с автофокусировкой: поддержка распространенных меток, таких как: Box-in-box, Cross-in-cross и L-bars
Возможность полной автоматизации (SECS/GEM)

Диаметр пластин	n 150 / 200 / 300 мм
Тип пластин	n GaN, GaAs, InP, SiC, сапфир, Si
Толщина пластины	n 350 ÷ 1500 мкм
Конфигурации оптики
Конфигурация АОИ 1	Стандартный контроль
	Увеличение 3x: для контроля дефектов ≥ 2 мкм
	Кольцевое освещение с высоким и малым углом
Конфигурация АОИ 2	Высокочувствительный контроль
	Увеличение 5x: для контроля дефектов ≥ 1,2 мкм
	Увеличение 10х: для контроля дефектов ≥ 0,6 мкм
	Увеличение 20х: для контроля дефектов ≥ 0,3 мкм
Конфигурация CD/Overlay	Увеличение 50х
	Минимальный размер линии 0,3 мкм
	Повторяемость CD: ≤ 120 нм @ 3δ
	Повторяемость Overlay: ≤ 30 нм @ 3δ
	Увеличение 100х
	Минимальный размер линии 0,3 мкм
	Повторяемость CD: ≤ 60 нм @ 3δ
	Повторяемость Overlay: ≤ 15 нм @ 3δ

Измерение дефектности
Виды дефектов	Остатки резиста, загрязнения, царапины, дефекты после травления, шероховатость после гальванических процессов, выпуклости, впадины

Требования к инфраструктуре
Электропитание	Фаза / Напряжение	Однофазное / 220 В
	Сила тока	10 А
	Мощность	4 кВт
Вакуум	Давление	-70 кПа ÷ −90 кПа
Чистый сухой воздух	Давление	0,4 ÷ 0,6 МПа
	Конденсат	Отсутствие конденсата
	Расход воздуха	Макс. 6 л/мин, средний 4 л/мин
Температура	18 ÷ 26 ºС
Влажность	40 ÷ 70 %
Класс чистоты ЧПП	ISO 5

Система автоматической оптической инспекции пластин

Особенности

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование